[发明专利]抛光装置

权利要求书

1．一种抛光装置，包括：

一个用于供应磨料的磨料供给装置(4，7)；

一第一磨料导向元件(5)，用于使由磨料供给装置供给的磨料接触到要被抛光材料的第一表面上；和

一个按压装置(6)，用于通过磨料导向元件以预定的压力将磨料按压到要被抛光材料的第一表面上，该按压装置包括，

一个带有磨料导向元件(5)的摆杆(51)；和

一个平衡调整装置(52)，用于通过磨料导向元件以所需的负载将磨料按压到要被抛光的材料上，所述负载通过调整施加到摆杆上的负载确定。

2．如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，平衡调整装置(52)包括：

一第一平衡重(55)，它通过向摆杆施加负载而保持摆杆平衡；

一第二平衡重(56)，它向摆杆施加负载以在下述方向上从平衡状态使摆杆转动，所述方向是使磨料移动并远离要被抛光材料的第一表面的方向；和

一第三平衡重(57)，它从平衡状态以下述方向向摆杆施加负载，所述方向是将磨料按压到要被抛光材料的第一表面的方向。

3．如权利要求2所述的抛光装置，其特征在于，第一、第二和第三平衡重的重量可以调整。

4．如权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，抛光装置还包括一个滑轮(6)，用于向上和向下移动第二和第三平衡重。

5．如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，抛光装置还包括一第二磨料导向元件(61)，用于将磨料按压到与要被抛光材料的第一表面相对的要被抛光材料的第二表面上。

6．如权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，第二磨料导向元件(61)设置在下述位置，即：第二磨料导向元件面对着横跨要被抛光材料的第一磨料导向元件(5)，第一磨料导向元件(5)通过按压装置按压在第二磨料导向元件上。

7．如权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，第二磨料导向元件带有一个负载传感器，用于检测按压装置的压力。

8．如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，磨料导向元件(5)是一个橡胶辊。

9．如权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，磨料是一条研磨带。

10．如权利要求9所述的抛光装置，其特征在于，抛光装置还包括一个真空腔(41)，用于使从磨料供给装置供应的研磨带的拉力保持在一个大致恒定的值上。

11．一种抛光装置，包括：

一个用于将一圆盘支撑在抛光位置的圆盘支撑装置(10，11，13)；和

一个按压装置，包括：用于将研磨带按压到一圆盘(2)上表面的第一条带导向元件(5)；和一个具有按压臂的摆动元件(51，54，58)，用于将负载施加到第一条带导向元件上，以将研磨带按压到圆盘的上表面；以及一个用于调整施加到第一条带导向元件上的负载的平衡臂。

12．如权利要求11所述的抛光装置，其特征在于，摆动元件包括平衡臂，它是第一平衡臂，并具有用于接收第一平衡重(55)的第一配重接收部分(51a)，以在释放方向上旋转按压臂；它是第三平衡臂，具有用于接收第三平衡重(57)的第三接收部分(58b)，以在按压方向上旋转摆动元件来增加负载。

13．如权利要求12所述的抛光装置，其特征在于，摆动元件还包括一第二平衡臂，它具有用于接收第二平衡重的第二接收部分(58a)，以在释放方向上旋转所述按压臂。

14．如权利要求13所述的抛光装置，其特征在于，摆动元件还包括一旋转轴(54)，它限定了摆动元件的摆动轴线，并将第二和第三平衡臂与第一平衡臂相连。