[发明专利]竖直的校正工作台机构

说明书

本发明涉及一种竖直的校正工作台机构，尤其涉及一种带有用于夹持需要曝光物体的校正工作台的竖直校正机构，例如用于夹持以竖直状态被支承的用于形成印刷线路板的面板或曝光板。

在印刷线路板加工过程的蚀刻校样处理中，通过具有与所须的导体图形相应的暴光图形的曝光板将导电片的预先涂覆的抗腐蚀膜曝光。在将预先涂覆的抗腐蚀膜曝光之前要将该涂覆有该膜的面板与曝光板校正对齐。一般地，印刷线路板的面板或曝光板由校正工作台来夹持，该校正工作台可以在与面板和曝光板排列方向垂直的平面上移动而进行位置调整，并且可以移动校正工作台以使面板和曝光板相互校正。

已经提出了多种用于将面板和曝光板校正的校正工作台机构。基本上，校正工作台机构设置有XYθ工作台，当借助摄像机或其他装置检测到形成于面板和曝光板上的校正标记在重叠时具有偏差时，通过移动校正工作台来使得面板和曝光板校正。

参照图5，示出了普遍使用的现有的水平的校正工作台的例子，其中有水平基板3和用于夹持曝光板之类的校正工作台5。校正工作台5呈矩形扁平板形状，其上设有允许光线通过的较大的窗口5a，该窗口由边缘部分环绕而成。校正工作台5被支承连接于基板3的上表面，可以进行自由的水平移动。基板3的前侧安装有第一和第二致动器9，它们的轴线向后延伸。基板3的右侧安装有第三致动器9，其轴线指向左侧。第一、第二和第三致动器9是电动致动器，分别设有线性移动致动杆9a。

校正工作台的前侧安装有第一和第二导轨11，校正工作台右侧安装有第三导轨11。每个导轨11上安装有滑座13。致动杆9a的自由端借助通用的连接件15连接到相应的滑座13上。启动第三致动器9可以向左或向右移动校正工作台5。启动第一和第二致动器9可以向前或向后移动校正工作台。启动第一致动器，或者启动第二致动器可以使校正工作台在水平面上转动。

由于致动器9从校正工作台5的周边向外伸出较多，使得现有的校正工作台。机构1的整体尺寸较大。如果一定用致动器9移动校正工作台5来完成工作台5的微米级的精确定位，致动器9和校正工作台5之间的连接窜动，包括导轨11和滑槽13之间的连接窜动必须无限逼近于零，同时，要求致动器9机构精密，不允许有任何间隙偏差。

虽然图5中没有示出，但实际上致动器9是一种高精密设备，其包括作为驱动装置的脉冲马达、滚珠丝杠、联轴器和支承这些元件的复杂的精密轴承。因此，致动器9和将致动器9连接到校正工作台5上的连接件是十分昂贵的。

当曝光设备，如曝光板以竖直状态使用来避免不利的灰尘影响时，必须采用如图6所示的竖直的校正工作台机构1。竖直的校正工作台机构1需要一夹持机构17来支承校正工作台，例如，与校正工作台5的两侧主要表面接触的滑动轴承组。

当采用夹持机构17时，竖直校正工作台机构1具有大的高度，为了与夹持机构17配合，必然增大校正工作台5的外部尺寸。所以增加了竖直的校正工作台机构1的尺寸。一般地，夹持于夹持机构17的校正工作台5不能随意移动，且很难消除夹持机构17的偏差。在校正工作台5前侧的夹持机构17的伸出部分阻碍了校正工作台5相对于位置调整目标的移动，对于校正工作台机构1和周边机构的设计自由度也产生了限制。

本发明是基于上述问题提出的，因而本发明的目的是提供一种成本低、结构紧凑并可以获得精确定位的竖直的校正工作台机构。

根据本发明，竖直的校正工作台机构包括：一竖直的支承壁；一与该竖直支承壁的前表面相对的竖直设置的校正工作台，该校正工作台还具有环绕边缘部分设置的曝光装置支承区域；多个工作台支承部件，用于支承着工作台在竖直平面上移动；多个工作台移动部件，用于沿着平行于两个相互垂直的校正方向的方向移动校正工作台；其特征在于每一工作台支承部件包括一弹性元件，用于持续地将校正工作台拉向支承壁，而在支承壁和校正工作台之间设置的滚动元件允许校正工作台沿上述方向移动。

在该校正工作台机构中，校正工作台总是被弹性元件拉靠在支承壁上并通过滚动元件实现移动。因此，在校正工作台和支承壁之间垂直于竖直壁的方向上根本没有窜动。

由于工作台支承部件的弹性元件和滚动元件没有从支承曝光机构的校正工作台的前表面伸出，所以校正工作台相对于其位置校正目标的移动就不会受到阻碍，因而校正工作台机构及其相关机构在设计上的自由度得到大的提高。