[发明专利]竖直的校正工作台机构无效
| 申请号: | 00106519.X | 申请日: | 2000-02-29 | 
| 公开(公告)号: | CN1311626A | 公开(公告)日: | 2001-09-05 | 
| 发明(设计)人: | 冈本惇 | 申请(专利权)人: | 丰和工业株式会社 | 
| 主分类号: | H05K3/06 | 分类号: | H05K3/06;G03F9/00 | 
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 | 
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 竖直 校正 工作台 机构 | ||
1.一竖直的校正工作台机构,包括:
一竖直的支承壁(43);
一校正工作台(33),其与支承壁的前表面相面对着竖直设置,并具有一被周缘部分环绕的曝光部件支承区域(33a);
多个工作台支承部件(35),用于支承着校正工作台(33)在竖直表面上移动;
多个工作台移动部件(37),用于沿着平行于两个相互垂直的校正方向的方向移动校正工作台;
其特征在于每一工作台支承部件(35)包括一弹性元件(55),该元件持续地将校正工作台(33)拉向支承壁(43),一滚动元件(51a)位于支承壁和校正工作台之间,允许校正工作台沿所述方向移动。
2.如权利要求1所述的竖直的校正工作台,其特征在于所说的滚动元件是夹持在球状脚轮(51)中的球体(51a),该球状脚轮固定在支承壁(43)上,所述校正工作台(33)具有固定于其上的接触块(53),该接触块具有一与球体滚动接触的表面。
3.如权利要求1所述的竖直的校正工作台,其特征在于所述弹性元件是拉伸弹簧(55),该拉伸弹簧靠近滚动元件(51a)设置,并使校正工作台(33)与支承壁(43)相连接。
4.如权利要求3所述的竖直的校正工作台,其特征在于支承壁(43)具有弹簧连接元件(47),该元件从支承壁(43)向远离校正工作台(33)的方向伸出,拉伸弹簧(55)的一端连接在弹簧连接元件(47)上,而其另一端连接在校正工作台(33)上,拉伸弹簧(55)穿过支承壁上的孔(59)。
5.如权利要求1所述的竖直的校正工作台,其特征在于每一工作台移动部件(37)包括一对接触元件(83、85),它们分别安装在支承壁(43)和校正工作台(33)上,为了相互接触,弹性元件(87)迫使接触元件压靠接触,而致动器(71)用于使其中一个接触元件向着另一个接触元件或远离另一个接触元件移动。
6.如权利要求5所述的竖直的校正工作台,其特征在于致动器(71)具有致动杆,每一工作台移动部件(37)的一个接触元件与该致动器致动杆的自由端相联接。
7.如权利要求5所述的竖直的校正工作台,其特征在于至少一个接触元件是滚动元件(83)。
8.如权利要求5所述的竖直的校正工作台,其特征在于一个接触元件是固定在校正工作台(33)或支承壁(43)上的接触块(85),而另一个接触元件是支承在相应的支承壁或校正工作台上的辊轮(83),该辊轮与所述接触块(85)的表面滚动接触。
9.如权利要求5所述的竖直的校正工作台,其特征在于所述致动器(71)是一安装于校正工作台(33)或支承壁(43)上的旋转马达,该马达的输出轴是螺杆(75),而相应的支承壁或校正工作台上固定安装有螺母(79),该螺母与所述螺杆之间是螺纹配合。
10.如权利要求9所述的竖直的校正工作台,其特征在于作用于接触元件的所述弹性元件是拉伸弹簧(87),其两端分别连接校正工作台(33)和支承壁(43)。
11.如权利要求1所述的竖直的校正工作台,其特征在于所述工作台支承部件(35)和工作台移动部件(37)设置于校正工作台(33)的周缘部分。
12.如权利要求1所述的竖直的校正工作台,其特征在于所述工作台支承部件(35)和工作台移动部件(37)位于校正工作台的曝光部件支承区域(33a)的外侧。
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