本发明的滑动零件的制造方法及其滑动零件,利用UBM溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering)而在与基材(27)的表面的滑动部(28)对应的部位连续地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond Like Carbon)(30),在遮蔽工序中,将具有多个圆形的孔(35)的遮蔽构件(34)大致密接状地外嵌在所述DLC被膜(30)的表面上,在蚀刻工序中,用等离子蚀刻将从遮蔽构件(34)的孔(35)露出的区域的DLC被膜(30)去除,由此,形成作为储油部(32)的凹部(31)。从而,能获得在滑动部上形成多个凹部(31)、可提高该滑动部上的润滑油的保持力进而使非烧结性提高的滑动零件。