[发明专利]膜厚测定装置和膜厚测定方法

权利要求书

1.一种膜厚测定装置，其具有分光传感器和数据处理部，其中，

所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的分光数据，所述数据处理部根据所测定的分光数据求出测定颜色特性变量，将该测定颜色特性变量与针对膜的厚度和折射率的多组值求出的多组理论颜色特性变量进行比较，使用对应于与该测定颜色特性变量之差最小的理论颜色特性变量的一组值确定该膜的折射率，使用该膜的该折射率确定该膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的膜厚测定装置，其中，

所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的透射率分布，所述数据处理部根据所测定的透射率分布求出反射率分布，进而根据该反射率分布求出所述测定颜色特性变量。

3.根据权利要求1或2所述的膜厚测定装置，其中，

所述膜厚测定装置还具有存储部，该存储部存储针对膜的厚度和折射率的多组值求出的多组理论颜色特性变量。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的膜厚测定装置，其中，

颜色特性变量是反射色三刺激值。

5.一种膜厚测定方法，其通过具有分光传感器和数据处理部的膜厚测定装置测定在基材上涂布的膜的厚度，其中，该膜厚测定方法包括以下步骤：

通过所述分光传感器测定在该基材上涂布的该膜的分光数据；

通过所述数据处理部根据所测定的分光数据求出测定颜色特性变量；

将该测定颜色特性变量与针对膜的厚度和折射率的多组值求出的多组理论颜色特性变量进行比较，使用对应于与该测定颜色特性变量之差最小的理论颜色特性变量的组的一组值确定该膜的折射率；以及

使用该膜的该折射率确定该膜的厚度。

6.根据权利要求5所述的膜厚测定方法，其中，

在所述测定的步骤中，所述分光传感器测定在基材上涂布的膜的透射率分布，在求出所述测定颜色特性变量的步骤中，所述数据处理部根据所测定的透射率分布求出反射率分布，进而根据该反射率分布求出所述测定颜色特性变量。

7.根据权利要求5或6所述的膜厚测定方法，其中，

在所述测定的步骤中，所述分光传感器在多个点测定在基材上涂布的膜的分光数据，在求出所述测定颜色特性变量的步骤中，所述数据处理部求出与该多个点对应的多个测定颜色特性变量，在确定所述折射率的步骤中，所述数据处理部使用该多个测定颜色特性变量确定该膜的折射率。

8.根据权利要求1～3中的任意一项所述的膜厚测定方法，其中，

颜色特性变量是反射色三刺激值。