[发明专利]准分子灯

说明书

技术领域

本发明涉及一种准分子灯，其具备由二氧化硅玻璃构成的放电容 器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对电极， 在上述放电容器的内部产生准分子放电。

先前技术

近年来，开发了例如通过将波长200nm以下的真空紫外光照射在 由金属、玻璃及其它材料构成的被处理体上，而在该真空紫外光及由 此所生成的臭氧的作用下处理被处理体的技术，例如除去附着于被处 理体的表面的有机污染物质的清洗处理技术、或在被处理体的表面形 成氧化膜的氧化膜形成处理技术，并将这些技术实用化。

作为照射真空紫外光的装置，将例如通过准分子放电形成准分子 分子、并利用从该准分子分子所放射的光的准分子灯作为光源，在此 种准分子灯中，为了更有效率地放射更高强度的紫外线，进行了很多 尝试。

具体的说，例如参照图6加以说明，记载了如下准分子灯50：具 备透射紫外线的由二氧化硅玻璃构成的放电容器51，在该放电容器51 的内侧与外侧分别设有电极55、56，其中，在曝露于放电容器51的放 电空间S中的表面上，形成紫外线反射膜20。而作为紫外线反射膜， 仅由二氧化硅粒子构成、及仅由氧化铝粒子构成的紫外线反射膜被例 示于实施例中(参照专利文献1)。

在该准分子灯50中，在放电容器51的一部分，未形成紫外线反 射膜20，从而形成有出射在放电空间S内产生的紫外线的光出射部58。

根据此种构成的准分子灯50，通过在被曝露于放电容器51的放电 空间S中的表面上设有紫外线反射膜，在设有紫外线反射膜的区域中， 在放电空间S内产生的紫外线由紫外线反射膜反射，因此不会入射至 二氧化硅玻璃，而在构成光出射部58的区域中，紫外线透射二氧化硅 玻璃并放射至外部，所以基本上可以有效地利用在放电空间S内产生 的紫外线，而且可将构成光出射部58以外的区域的二氧化硅玻璃的紫 外线应变所致的损坏抑制得较小，而可防止产生裂痕的情形。

专利文献1：日本专利第3580233号公报

然而，在上述构成的准分子灯中，判明了若长时间点灯，则产生 会降低紫外线反射膜的反射率的问题、或产生紫外线反射膜的剥落等 的问题。

发明内容

本发明鉴于上述问题，其目的在于提供即使长时间点灯时也把紫 外线反射膜的反射率降低的程度抑制得较小，不会产生紫外线反射膜 的剥落，因此可有效率地出射真空紫外光的准分子灯。

本发明的准分子灯，包括具有放电空间的由二氧化硅玻璃构成的 放电容器，在夹着形成该放电容器的二氧化硅玻璃的状态下设有一对 电极，在上述放电容器的放电空间内产生准分子放电，其特征在于， 在上述放电容器的曝露于放电空间中的表面上，形成由二氧化硅粒子 和氧化铝粒子形成的紫外线反射膜，该紫外线反射膜，在将上述放电 容器的管壁负荷设为b[W/cm²]时，在曝露于放电空间中的表面层部分 以(10b-4)wt％以上、70wt％以下的比率含有氧化铝粒子。

根据本发明的准分子灯，紫外线反射膜由二氧化硅粒子和氧化铝 粒子形成，通过以适当比率含有氧化铝粒子，即使长时间点灯时，也 不会使得粒界消失而得到维持，因此可有效率地扩散反射真空紫外光 而可将反射率降低的程度抑制成较小，而且不会因氧化铝粒子混入而 导致紫外线反射膜相对于放电容器的粘合性大幅度地降低，可确实地 抑制紫外线反射膜从放电容器剥落，因此可有效率地出射真空紫外光。

附图说明

图1是表示本发明的准分子灯的一例的构成概略的说明用截面 图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的截面图，(b)是表示(a) 的A-A线截面图。

图2是表示用于说明二氧化硅粒子及氧化铝粒子的粒径的定义的 说明图。

图3是表示用于说明实验例的准分子灯的照度测定方法的截面 图。

图4是表示准分子灯的照度变化被保持在0.8以上时的、放电容 器的管壁负荷和紫外线反射膜的氧化铝含有量的关系的图表。

图5是表示本发明的准分子灯的其它例子的构成概略的说明用截 面图，(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的截面图。(b)是表示 垂直于(a)的纸面的平面下的截面的截面图。

图6是表示本发明的准分子灯的另一例子的构成概略的说明用截 面图。(a)是表示沿着放电容器的长度方向的截面的横截面图，(b)是表 示(a)的A-A线截面图。