[发明专利]钨的超微粒子及其制法无效
| 申请号： | 99804421.0 | 申请日： | 1999-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1294638A | 公开（公告）日： | 2001-05-09 |
| 发明（设计）人： | 玉生良孝;田中俊一郎;许并社 | 申请（专利权）人： | 科学技术振兴事业团;株式会社东芝 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;B22F9/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 魏金玺,邰红 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在无定形碳支撑膜1上配置了WO3粒子等的钨氧化物粒子2,在高真空气氛下用强度在1023－1024e/cm2·sec范围的电子束3辐照此钨氧化物粒子2。由于有这样强度的电子束3的辐照,生成了粒径在例如10nm以下的钨超微粒子4。钨超微粒子4是由从钨氧化物粒子2脱离出来的钨所构成。 | ||
| 搜索关键词： | 微粒子 及其 制法 | ||
【主权项】：
1．一种钨超微粒子，该钨超微粒子是用电子束照射钨氧化物粒子所形成的钨超微粒子，其特征在于，它是由在高真空气氛中以具有1023～1024e／cm2·sec范围强度的电子束照射前述钨氧化物粒子，由从所述钨氧化物粒子脱离出来的钨所构成的。
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