[发明专利]电子束轮廓测量方法及系统无效
| 申请号： | 99802205.5 | 申请日： | 1999-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1288580A | 公开（公告）日： | 2001-03-21 |
| 发明（设计）人： | 布兰科·布卡尔;列扎·萨法伊－拉德;卡罗伊G·涅梅特 | 申请（专利权）人： | 图象处理系统公司 |
| 主分类号： | H01J9/42 | 分类号： | H01J9/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 方挺,余朦 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在测量电子显示装置(16)的电子束轮廓的方法中,在电子显示装置的显示屏上显示视点点阵(24),各视频点包括一组(27)被电子束照亮的荧光点(28)。获取多个形成视场中视频点的被照亮荧光点组所形成的图像。确定所述视场内的所述视频点的平均水平距离和垂直距离;以及根据所述视频点的平均水平距离和垂直距离,将在所述图像中捕捉的所述视场中形成视频点的所述各组被照亮的荧光点大致地叠加在一起,以使所述组中荧光点之间的不连续之处均衡和填满,并由此产生出所述电子束的重叠图像(40)。重叠图像的截面可被近似,并且计算出电子束的至少一个强度轮廓。还可同时捕捉各彩色电子束的重叠图像(40),并且计算会聚误差。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 轮廓 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
1．一种用于在电子显示装置中测量电子束轮廓的方法，该方法包括以下步骤：在所述电子显示装置的显示屏上显示出一视频点阵，各所述视频点由一组被电子束照亮的荧光点组成；获取在视场内形成所述视频点的多个亮荧光点组所形成的图像；确定所述视场内的所述视频点的平均水平距离和垂直距离；以及根据所述视频点的平均水平距离和垂直距离，将在所述图像中捕捉的所述视场中形成视频点的所述各组被照亮的荧光点大致地叠加在一起，以使所述组中荧光点之间的不连续之处均衡和填满，并由此产生出所述电子束的重叠图像。
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