[发明专利]电子束轮廓测量方法及系统无效

专利信息
申请号: 99802205.5 申请日: 1999-01-13
公开(公告)号: CN1288580A 公开(公告)日: 2001-03-21
发明(设计)人: 布兰科·布卡尔;列扎·萨法伊-拉德;卡罗伊G·涅梅特 申请(专利权)人: 图象处理系统公司
主分类号: H01J9/42 分类号: H01J9/42
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人: 方挺,余朦
地址: 加拿大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 电子束 轮廓 测量方法 系统
【权利要求书】:

1.一种用于在电子显示装置中测量电子束轮廓的方法,该方法包括以下步骤:

在所述电子显示装置的显示屏上显示出一视频点阵,各所述视频点由一组被电子束照亮的荧光点组成;

获取在视场内形成所述视频点的多个亮荧光点组所形成的图像;

确定所述视场内的所述视频点的平均水平距离和垂直距离;以及

根据所述视频点的平均水平距离和垂直距离,将在所述图像中捕捉的所述视场中形成视频点的所述各组被照亮的荧光点大致地叠加在一起,以使所述组中荧光点之间的不连续之处均衡和填满,并由此产生出所述电子束的重叠图像。

2.如权利要求1所述的方法,还包括捕捉所述重叠图像的截面并产生所述电子束的至少一个强度轮廓的步骤。

3.如权利要求2所述的方法,其中产生所述电子束的水平和垂直强度轮廓。

4.如权利要求3所述的方法,其中还包括计算所述水平强度轮廓和垂直强度轮廓的尺寸占所述电子束最大强度的一个百分比阈值的步骤。

5.如权利要求4所述的方法,其中所述百分比阈值可由用户进行选择。

6.如权利要求3所述的方法,其中所述截面是通过计算包围所述重叠图像的荧光点的最佳椭圆而被近似得出的。

7.如权利要求6所述的方法,其中所述最佳椭圆是利用付立叶椭圆分解计算出来的。

8.如权利要求3所述的方法,其中还包括计算处于两个确定强度水平的截面面积并确定它们之间的面积比以提供聚焦质量指示的步骤。

9.如权利要求8所述的方法,其中还包括为已确定的面积比提供图形和数字显示的步骤。

10.如权利要求9所述的方法,其中还包括保持显示用于说明最佳聚焦质量的确定面积比的步骤。

11.如权利要求10所述的方法,其中还包括进行显示以表示出所述重叠图像中荧光点之间的间隙的步骤。

12.如权利要求11所述的方法,其中提供了一对指示符,所述指示符之一用于说明所述重叠图像中荧光点之间水平方向上的间隙,而另一个指示符则用于说明所述重叠图像中荧光点之间垂直方向上的间隙。

13.如权利要求3所述的方法,其中还包括直观地显示一个指示以说明所述重叠图像在给定截面上的峰值强度的步骤。

14.如权利要求1所述的方法,其中在所述显示步骤期间,由红、绿和蓝视频点构成的点阵是通过用红、绿和蓝电子束分别照亮各组荧光点而被显示出来的,而且在所述叠加步骤期间,构成各种颜色的被照亮视频点的被照亮荧光点组被分别叠加,从而产生所述红、绿和蓝电子束的重叠图像。

15.如权利要求14所述的方法,其中还包括根据所述重叠图像来构成红、绿和蓝电子束的空间分布并计算其会聚误差的步骤。

16.一种用于测量电子显示装置中电子束轮廓的系统,其特征在于包括:

视频图像发生器,其驱动所述电子显示装置以使其在显示屏上显示出一个视频点阵,各所述视频点由一组被电子束照亮的荧光点组成;

传感器,其获取由形成视场内的所述视频点的多个被照亮荧光点组构成的图像;

与所述传感器相连并可接收所述图像的处理器,该处理器对所述图像进行处理,以确定所述视场内所述视频点的平均水平距离和垂直距离,并根据所述视频点的平均水平距离和垂直距离,将形成从所述图像中捕捉的所述视场视频点的所述各组被照亮的荧光点大致地叠加在一起,以使所述组中的荧光点之间的不连续处均衡和填满,并由此产生出所述电子束的重叠图像。

17.如权利要求16所述的系统,其特征在于所述处理器近似出所述重叠图像的截面并产生所述电子束的水平和垂直强度轮廓。

18.如权利要求17所述的系统,其特征在于还包括一显示器,该显示器用来显示所述近似出来的截面以及所述水平和垂直强度轮廓。

19.如权利要求16所述的系统,其特征在于所述视频图像发生器使所述显示器显示出红、绿和蓝视频点组成的点阵,它们分别由红、绿和蓝电子束照亮,所述处理装置将构成各种颜色的亮视频点的被照亮荧光点组分别叠加,以产生所述红、绿和蓝电子束的重叠图像。

20.如权利要求19所述的系统,其特征在于所述处理装置根据所述重叠图像而对所述红、绿和蓝电子束的空间分布进行比较,并且计算出其会聚误差。

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