[实用新型]消除短波通截止滤光片半波孔的装置

摘要

本实用新型是一种光学薄膜制备装置,可消除短波通截止滤光片的半波孔,包括镀膜机真空室、两个电子枪、光源、调制器、控制片、球形夹具、挡板、反射镜、单色仪、光电倍增管和膜厚仪等部件,另外,该装置在镀膜机真空室内、蒸镀膜层偏厚的电子枪与球形夹具之间,还固定有一个遮挡部件,通过调节高、低折射率镀膜材料的蒸镀膜层厚度相匹配,以达到有效消除半波孔的目的,普遍适用于透射式和反射式光控极值法镀制短波通截止滤光片。

主权项

1、消除短波通截止滤光片半波孔的装置，包括镀膜机真空室(15)、两个电子枪(11、12)、光源(1)、调制器(2)、控制片(3)、球形夹具(6)、挡板(9、10)、反射镜(16)、单色仪(17)、光电倍增管(18)和膜厚仪(19)等部件，其特征在于：该装置还包括一个遮挡部件(7)，位于镀膜机真空室(15)内，固定在蒸镀膜层偏厚的电子枪(11)与球形夹具(6)之间。