[实用新型]消除短波通截止滤光片半波孔的装置无效
| 申请号： | 99251803.2 | 申请日： | 1999-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN2407015Y | 公开（公告）日： | 2000-11-22 |
| 发明（设计）人： | 黄伟;张云洞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 中国科学院成都专利事务所 | 代理人： | 张一红,肖国华 |
| 地址： | 61020*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 消除 短波 截止 滤光 片半波孔 装置 | ||
1、消除短波通截止滤光片半波孔的装置，包括镀膜机真空室(15)、两个电子枪(11、12)、光源(1)、调制器(2)、控制片(3)、球形夹具(6)、挡板(9、10)、反射镜(16)、单色仪(17)、光电倍增管(18)和膜厚仪(19)等部件，其特征在于：该装置还包括一个遮挡部件(7)，位于镀膜机真空室(15)内，固定在蒸镀膜层偏厚的电子枪(11)与球形夹具(6)之间。
2、如权利要求1所述的消除短波通截止滤光片半波孔的装置，其特征在于：该装置内的遮挡部件是一个扇形遮挡板(7)，扇形的圆心角一端(29)对着镀膜机真空室(15)中轴，扇形的弧边(30)向着镀膜机真空室(15)内壁，扇形遮挡板(7)与镀膜机真空室(15)底盘平行，扇形遮挡板(7)的中线(28)与镀膜机真空室(15)的径向方向一致。
3、如权利要求2所述的消除短波通截止滤光片半波孔的装置，其特征在于：该装置内的扇形遮挡板(7)的大小及其放置的高度满足以下条件：蒸镀膜层偏厚的电子枪(11)蒸发的镀膜材料可以不受遮挡板(7)阻挡淀积到控制片(3)在该电子枪(11)这一边的边缘(20)上，同时蒸镀膜层偏薄的电子枪(12)蒸发的镀膜材料可以不受遮挡板(7)阻挡淀积到球形夹具(6)在蒸镀膜层偏厚的电子枪(11)这一边的边缘(21)上。
4、如权利要求1所述的消除短波通截止滤光片半波孔的装置，其特征在于：该装置内的遮挡部件(7)由支撑机构(8)固定。
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