[实用新型]一种反射率测量装置

摘要

本发明涉及一种对反射率测量装置的改进。它由真空室、底板、支架、电机、蜗轮副、多层膜反射镜、电机、蜗轮副、随动摇臂、电机、蜗轮副、样品架、电机、蜗轮副、探测器架、探测器、电机、蜗轮副、样品组成,根据多层膜反射镜的布拉格分光原理,采用单块多层膜反射镜作为单色器的分光元件,通过随动摇臂构成双重二倍角机构,将单色器波长扫描机构和反射率计角度扫描机构放置在一个真空室内,与已有技术相对比具有系统小巧、结构简单、便于调试、价格低廉的特点。

主权项

1、一种对反射率测量装置，它包括真空室1、底板2、样品架12、探测架15、探测器16、样品19，其特征在于：底板2固定在真空室1上，支架3、电机4、电机7均固定在底板2上，蜗轮副5、多层膜反射镜6、蜗轮副8、随动摇臂9均由支架3支撑，且蜗轮副5与多层膜反射镜6相固定，蜗轮副8与随动摇臂9相固定，电机10、电机13固定于随动摇臂9上，蜗轮副11、样品架12、蜗轮副14、探测器架15均由随动摇臂9支撑，且蜗轮副11与样品架12相固定，蜗轮副14与探测器架15相固定，电机17固定在样品架12上，蜗轮副18、样品19由12支撑，探测器16固定在探测器架15上。