[实用新型]一种反射率测量装置无效
| 申请号： | 99250600.X | 申请日： | 1999-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN2399724Y | 公开（公告）日： | 2000-10-04 |
| 发明（设计）人： | 薛松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130022 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 反射率 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1、一种对反射率测量装置，它包括真空室1、底板2、样品架12、探测架15、探测器16、样品19，其特征在于：底板2固定在真空室1上，支架3、电机4、电机7均固定在底板2上，蜗轮副5、多层膜反射镜6、蜗轮副8、随动摇臂9均由支架3支撑，且蜗轮副5与多层膜反射镜6相固定，蜗轮副8与随动摇臂9相固定，电机10、电机13固定于随动摇臂9上，蜗轮副11、样品架12、蜗轮副14、探测器架15均由随动摇臂9支撑，且蜗轮副11与样品架12相固定，蜗轮副14与探测器架15相固定，电机17固定在样品架12上，蜗轮副18、样品19由12支撑，探测器16固定在探测器架15上。
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