[发明专利]具有带永磁配置结构的阴极的溅射装置有效
| 申请号： | 99119789.5 | 申请日： | 1999-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN1248640A | 公开（公告）日： | 2000-03-29 |
| 发明（设计）人： | D·哈斯;J·克雷姆佩尔-赫瑟;W·布施贝克 | 申请（专利权）人： | 莱博德系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨松龄 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一种通过永磁配置结构而具有磁强化功能的溅射装置中,产生了一个磁场,磁场的磁力线在溅射面上方经过并穿透所述溅射面,其中永磁配置结构由两列(7,8)圆形的或椭圆形的且本身分别相连的同轴单磁铁(5,5’…;6,6’…)构成,它们通过一个磁轭(9)相连,其中背向永久磁铁列(7,8)的中央阴极(3)表面是由两个相对其中延伸的分型面(3a,3b)构成的,共同构成这两个分型面(3a,3b)的边缘(3c)平行于永久磁铁(5,5’…;6,6’…)列(7,8),在磁轭(15)和转向磁轭(15)的中央阴极(3)表面之间安插了一个由磁铁材料制成的部件(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 永磁 配置 结构 阴极 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种通过永磁配置结构而具有磁强化功能的溅射装置，所述的永磁配置结构设置在背向一个中央阴极溅射面的中央阴极侧面上且它产生了一个其磁力线在溅射面上方经过并穿透它的磁场，所述溅射装置具有一个至少部分由溅射面构成的阴极和一个间隔设置在阴极前面的且用于产生一个电场的阳极，其中永磁配置结构由两列圆形的或椭圆形的且本身分别相连的同轴单磁铁(5，5’…6，6’…)构成，它们通过一个磁轭(9)相连，其特征在于，在这两个永久磁铁列(7，8)之间设有一个其形状与磁轭(10)匹配的且横截面优选地成U形的由磁铁材料制成的部件(10)，其背向中央阴极(3)的背面靠在面向中央阴极(3)的且由永久磁铁列(7，8)限定的磁轭(9)面上，其中U形部件(10)的两个支脚分别在指向中央阴极(3)的方向上与永久磁铁列(7，8)间隔地延伸。
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