[发明专利]合成石英玻璃制造方法无效
| 申请号： | 98120254.3 | 申请日： | 1998-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1215031A | 公开（公告）日： | 1999-04-28 |
| 发明（设计）人： | 藤原诚志;小峰典男;神保宏树 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C03B11/00 | 分类号： | C03B11/00;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 控制高沸点硅化合物向合成炉的导入量,其方法是将压送气体送入液体原料泵10;将沸点高的有机硅化合物的原料液32通过液体流量计20供给气化器12。此原料液32送往气化器12的导入量由液体流量计20控制。在气化器12中,将雾化了的原料液32同输送气体相混合,再以高过有机硅化合物沸点10℃以上的高温加热,由此生成原料气体,再将其导入合炉14。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】：
1．合成石英玻璃制造方法，其特征是将由硅化合物组成的原料液导入气化器，再将前述气化器中前述原料液气化后的原料气体导入合成炉，此时，用液体流量计将前述原料液向前述气化器的导入量进行控制。
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