[发明专利]合成石英玻璃制造方法无效
| 申请号： | 98120254.3 | 申请日： | 1998-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN1215031A | 公开（公告）日： | 1999-04-28 |
| 发明（设计）人： | 藤原诚志;小峰典男;神保宏树 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | C03B11/00 | 分类号： | C03B11/00;C03B20/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王维玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1．合成石英玻璃制造方法，其特征是将由硅化合物组成的原料液导入气化器，再将前述气化器中前述原料液气化后的原料气体导入合成炉，此时，用液体流量计将前述原料液向前述气化器的导入量进行控制。
2．合成石英玻璃制造方法，其特征是将由硅化合物组成的原料液导入气化器，再将前述气化器中前述原料液气化后的原料气体导入合成炉，此时，用液体流量计将前述原料液向前述气化器的导入量进行控制，且通过将前述气化器中雾化了的前述原料液同输送气体混合并加热，生成前述原料气体。
3．根据权利要求1所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是在前述气化器内将前述原料气体加热到比前述硅化合物的沸点高出10℃以上的高温。
4．根据权利要求2所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是在前述气化器内将前述原料气体加热到比前述硅化合物的沸点高出10℃以上的高温。
5．根据权利要求1～4的任一项中所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是前述硅化合物的沸点在50℃以上，140℃以下。
6．根据权利要求1～4的任一项中所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是作为前述硅化合物，采用烷氧基硅烷。
7．根据权利要求1～4的任一项中所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是作为前述硅化合物，采用烷基环状硅氧烷。
8．根据权利要求1～4的任一项中所述的合成石英玻璃制造方法，其特征是作为前述硅化合物，采用烷基硅氧烷。
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