[发明专利]制造一种红外发射发光二极管的方法无效
| 申请号: | 97197120.X | 申请日: | 1997-08-04 |
| 公开(公告)号: | CN1227670A | 公开(公告)日: | 1999-09-01 |
| 发明(设计)人: | R·泽德尔迈尔;E·尼尔施尔;N·斯塔斯 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
| 主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/20 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,王忠忠 |
| 地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明涉及制造一种红外发射发光二极管的方法,在这种方法中在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上被涂上一个层序列,它是由半导体衬底(1)一个第一个AIGaAs-覆盖层(2),一个包含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层(4)组成的,其中第一个AlGaAS--覆盖层(2)和活性层(3)是用一种MOVPE-(金属组织气相外延)-法以及第二个AlGaAs-覆盖层(4)是用一种LPE-法制造的。此外在第二个AlGaAs-覆盖层上用一种LPE-(液相外延)-法沉积上一个厚度至少约为10μm的导电的、在红外光谱范围透光的耦合层(5)。 | ||
| 搜索关键词: | 制造 一种 红外 发射 发光二极管 方法 | ||
【主权项】:
1.制造一种红外发射发光二极管的方法,在一个优先由GaAs构成的半导体衬底(1)上涂上一层当发光二极管运行时发射一束红外射线的活性层,其从半导体衬底(1)出发由一个第一个AlGaAs-覆盖层(2),一个含有GaAs和/或AlGaAs的活性层(3)和一个第二个AlGaAs-覆盖层组成,其特征在于,第一个AlGaAs-覆盖层(2)和活性层(3)是由一种MOYPE-(金属组织气相外延)-法并且第二个AlGaAs-覆盖层(4)是由一种LPE-(液相外延)-法制成的。
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