[发明专利]静电电容式位移测量装置

摘要

一种静电电容式位移测量装置，具有可转动的转子41和以相对于该转子的外侧周面具有预定间隙的方式配置的、其内侧周面呈半圆形状的定子51。在前述转子41的外侧周面的两端部处，形成有使前述转子41和定子51的相对面之间具有预定的间隙用的台阶部44。在前述台阶部44处设置有与定子51的内侧周面相接触的、向定子51施加朝向转子41的作用的势能施加组件61(板簧)。

主权项

1.一种静电电容式位移测量装置，具有可转动的、其外侧周面呈圆形的转子，和以相对于该转子的外侧周面具有预定的间隙的方式配置的、其内侧周面呈半圆形状的定子，在前述定子的内侧周面处配置有由若干个电极构成的、在其上分别施加有相位彼此不同的交流信号的发送电极组，以及与前者相绝缘的、用于将接收到的信号输入至检测回路的接收电极，在前述转子的外侧周面处还配置有同时与前述若干个发送电极组电容耦合的耦合电极，其特征在于还具有形成在前述转子的外侧周面或定子的内侧周面之一个的两端部处的、使前述转子和定子的相对面之间具有预定的间隙的台阶部，在前述台阶部设置有与前述转子或定子相接触的、向前述定子施加朝向转子的作用的势能施加组件。