[发明专利]静电电容式位移测量装置

权利要求书

1.一种静电电容式位移测量装置，具有可转动的、其外侧周面呈圆形的转子，和以相对于该转子的外侧周面具有预定的间隙的方式配置的、其内侧周面呈半圆形状的定子，

在前述定子的内侧周面处配置有由若干个电极构成的、在其上分别施加有相位彼此不同的交流信号的发送电极组，以及与前者相绝缘的、用于将接收到的信号输入至检测回路的接收电极，

在前述转子的外侧周面处还配置有同时与前述若干个发送电极组电容耦合的耦合电极，

其特征在于还具有形成在前述转子的外侧周面或定子的内侧周面之一个的两端部处的、使前述转子和定子的相对面之间具有预定的间隙的台阶部，

在前述台阶部设置有与前述转子或定子相接触的、向前述定子施加朝向转子的作用的势能施加组件。

2.一种静电电容式位移测量装置，具有可转动的、其外侧周面呈圆形的转子，和以相对于该转子的外侧周面具有预定的间隙的方式配置的、其内侧周面呈半圆形状的定子，

在前述定子的内侧周面处配置有由若干个电极构成的、在其上分别施加有相位彼此不同的交流信号的发送电极组，以及与前者相绝缘的、并将接收到的信号输入至检测回路的接收电极，

在前述转子的外侧周面处还配置有同时与前述若干个发送电极组电容耦合的耦合电极，

其特征在于还具有形成在转子的外侧周面的两端部处的、使前述转子和定子的相对面之间具有预定的间隙的台阶部，

在前述台阶部设置有与前述转子或定子相接触的、向前述定子施加朝向转子的作用的势能施加组件。

3.一种如权利要求2所述的静电电容式测量装置，其特征在于前述台阶部和止动部件由嵌装固定在前述转子两端部处的端部部件构成。

4.一种如权利要求3所述的静电电容式测量装置，其特征在于在前述端部部件中的至少一个处还配置有与位移测定对象的转动体相结合的结合组件。

5.一种如权利要求2所述的静电电容式位移测量装置，其特征在于前述势能施加组件由一端固定、另一端与前述定子相接触并对定子沿相对于前述转子的转动轴正交的第一方向施加作用的板簧构成，而且前述板簧在前述一端和另一端之间还具有可沿相对于前述转子的转动轴正交且相对于第一方向正交的第二方向变形的弯曲部。

6.一种如权利要求2所述的静电电容式位移测量装置，其特征在于前述势能施加组件由一端固定、另一端与前述定子的两端相接触并对定子沿相对于前述转子的转动轴正交的第一方向施加作用的一对板簧构成，而且前述各板簧在前述一端和另一端之间还具有可沿相对于前述转子的转动轴正交且相对于第一方向正交的第二方向变形的弯曲部。

7.一种如权利要求6所述的静电电容式位移测量装置，其特征在于前述一对板簧的一端侧彼此相互连接。

8.一种如权利要求7所述的静电电容式位移测量装置，其特征在于在与前述各板簧的另一端侧相接触的前述定子处形成有突起，在前述各板簧处形成有与前述突起相结合的结合孔。

9.一种利用其一端具有砧台的主体和螺纹连接在主体另一侧端部处的、可沿轴向方向移动的测杆的千分表检测前述测杆的轴向位移量用的静电电容式位移测量装置，其特征在于具有

设置在前述测杆上的、可与测杆一起转动的、其外侧周面呈圆形的转子，和以相对于该转子的外侧周面具有预定的间隙的方式配置在前述主体上的、其内侧周面呈半圆形状的定子，

在前述定子的内侧周面处配置有由若干个电极构成的、在其上分别施加有相位彼此不同的交流信号的发送电极组，以及与前者相绝缘的、并将接收到的信号输入至检测回路的接收电极，

在转子的外侧周面处还配置有同时与前述若干个发送电极组电容耦合的耦合电极，其两端部处形成有使前述转子和定子的相对面之间具有预定的间隙的台阶部，还形成有与前述定子的轴向方向的两端面相接触的止动部件，

在前述台阶部设置有与转子或定子相接触的、向前述定子施加朝向转子的作用的势能施加组件。

10.一种如权利要求9所述的静电电容式测量装置，其特征在于前述台阶部和止动部件由嵌装固定在前述转子两端部处的端部部件构成。