[发明专利]软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法

摘要

一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头及其制备方法。纳米针孔在X射线非冗余全息术中、X射线扫描显微术和X射线成象显微术以及光盘存储信息中有着重要的应用。本发明采用两种方法制作纳米针孔，一种方法是先在带有制作好小圆胶点的基片表面上镀金膜，利用圆胶点形成小孔，再用电镀法缩孔，另一种方法是利用基片表面的不平整性直接在表面上镀金膜而获得。两种方法均可制得孔径α＜200纳米，孔深H＞2０0纳米，且针孔厚度h＞50纳米的纳米针孔。

主权项

1．一种软X射线非冗余全息术中纳米针孔探头，包括基片(1)，基片(1)一表面上有金膜(2)，基片(1)上有大孔(4)，金膜(2)上有针孔(3)，针孔(3)的横向孔径a＜200纳米，大孔的孔径大于针孔的孔径a，其特征在于针孔(3)的孔深H＞200纳米，针孔(3)的厚度h＞50纳米。