[发明专利]基质镀膜装置用的蒸发舟无效
| 申请号： | 97102542.8 | 申请日： | 1997-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1067117C | 公开（公告）日： | 2001-06-13 |
| 发明（设计）人： | Ｗ·阿赫特纳;Ｇ·克莱姆 | 申请（专利权）人： | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平,蔡民军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一个真空镀膜室中的基质镀膜装置用的蒸发舟，由一种直接通电而加热的导电材料制的扁平的、细长的槽形部件（８）构成，为此，在槽形部件（８）的两个相互径相对的端部上分别设定了长方形的、垂直延伸的接触表面（９，１０），它们形成用于槽形部件（８）的支撑和电流通过相互平行的紧固部位，在这种情况下，在槽形部件（８）上设有一个或多个成排列布置的区域（１１，１１′…）以容纳待蒸发的材料，其中，槽形部件（８）在每个区域（１１，１１′…）的前面和后面都设有开口（７，１２，１２′…）或孔。 | ||
| 搜索关键词： | 基质 镀膜 装置 蒸发 | ||
【主权项】：
1．一种在一个真空镀膜室中基质镀膜装置用的蒸发舟，由一个直接通电而可加热的导电材料制的扁平的、细长的槽形部件(3,8)构成，为此，在槽形部件(3,8)的两个径向相对的端部上各设置了长方形的、垂直延伸的接触表面(4,5,9,10)，它们形成用于槽形部件(3,8)的支撑和电流通过的相互平行的紧固部位，其特征为：在槽形部件(3,8)上设有一个或多个前后布置的用于容纳待蒸发的材料的熔化区(6,11,11′)，其中，在每个区(6,11,11′)的前面和后面的槽形部件(3,8)都设有开口(7,7′,12,12′)或孔。
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