[发明专利]基质镀膜装置用的蒸发舟

说明书

本发明涉及一种在真空镀膜室中基质镀膜装置用的蒸发舟，它是由一种直接通电流而加热的导电材料制的扁平的、槽形部件所构成。

具有尤其适用于串联蒸发器的长方形底面的通电槽形蒸发舟人所共知的，在其两个垂直的窄面或正面附有紧固面，靠它支撑于蒸发舟支座上。

在一种较老的用于在真空镀膜室内带状基质连续镀膜的装置中(P4027034)，具有许多组成蒸发器工作台的、平行的和沿带运行方向彼此约相等间距设置的、大小与形状相同的蒸发舟，其中，蒸发舟全部由导电陶瓷组成并可通过直接通电流加热，并且具有一种用于将待蒸发的金属线连续引入蒸发舟的装置，各个蒸发舟总是相互交错排列的，在此所有蒸发舟共同盖住一个狭窄的与带运行方向成横向的镀膜区。

通过上述的交错排列解决了减少单个源的相互作用并因而改进了成镀层的均匀性。各个蒸发舟本身具有一个长方形断面，而容纳熔化物料的槽也都有一个长方形底面。

在另一种已公开的用于环状物连续蒸镀的具有多个在一排中前后布置直接加热的蒸发器的装置(DE970246)中，人们已试图克服具有槽的长方形底面的传统蒸发器类型的缺点，这一缺点的产生原因是，蒸发的物料作为电流的优良导体使蒸发器局部产生短路，致使仅仅在蒸发器的各个槽之间存在的部分用作热发生器，因而造成镀膜不匀。按照这一提前公开的文献，上述缺点应如此得到克服，即在各个槽之间，蒸发器具有蒸发器断面的减小，以致蒸发器的电阻大约是恒定的并与真空镀膜室内的蒸发物料的填料量无关。

在一份早先的专利申请(P4016225.7)中，说明了一种真空蒸镀设备尤其带式蒸发设备用的串联蒸发器，它由多个、分别在功率上可控制的、通电可加热的、位于支撑式电气引线上的蒸发器组成，其中支撑状引线被一个在串联蒸发器整个长度上延伸的导电载体保持，一个极性的引线与载体导电地连接，并且另一个极性的引线是绝缘地导引通过基体并与绝缘安置的导线相连接，在此，蒸发器最好经由作为圆筒段成型的支撑件支撑在引线的上端或凸起部，为此，支撑件是由一种导电的材料如陶瓷构成的。

这种较老的串联蒸发器解决了蒸发过程中在电气引线之间蒸发器成双夹紧固或良好电接触的问题。然而，在这种蒸发器的成双布置中，一个最佳均匀的镀膜问题也尚未完全解决。

最后，德国专利(DE4139792 A1)公开过一种用于在真空镀膜室中基质镀膜装置的蒸发舟，它是由一个导电材料制的扁平的槽形部件组成，其中，蒸发舟是通过直接通电来加热，并且具有一个大体是菱形的或长菱形的底面，同时，槽的构型大致与蒸发舟的相符并且蒸发舟的两个相互径向相对的角分别设有一个大约矩形的垂直的扁圆部分，它们共同形成蒸发舟的相互平行的紧固面。

现在，本发明的任务是避免已知的蒸发器或蒸发器装置的缺点并使所形成的蒸发器能达到最佳镀膜。

为此，本发明提供一种在一个真空镀膜室将基质镀膜装置用的蒸发舟，由一个直接通电而可加热的导电材料制的扁平的、细长的槽形部件构成，为此，在槽形部件的两个径向相对的端部上各设置了长方形的、垂直延伸的接触表面，它们形成用于槽形部件的支撑和电流通过的相互平行的紧固部位，其特征为：在槽形部件上设有一个或多个前后布置的用于容纳待蒸发的材料的熔化区，其中，在每个区的前面和后面的槽形部件都设有开口或孔。

根据本发明的进一步结构，在槽形部件的上面沿其纵向延伸的一个浅的凹槽或凹陷处内设定了一个或多个蒸发区。

根据本发明的进一步结构，开口分另由一组并排和相互平行布置的垂直孔形成。

根据本发明的进一步结构，槽形部件具有一个大约平行六面体的构型并且部件的厚度与位于其上面的凹槽的深度的比例约为5。

按照本发明，槽形部件按纵向在被熔化材料湿润部分的前面和/或后面设有开口，例如垂直延伸的孔。

在一个具有多个成排前后排列的用于熔化待蒸发的物料的区域的蒸发舟中，在各个部分之间和在最后部分的前后，槽形部件可适当地设有开口。

本发明允许有不同的实施可能性，其中有两种在附图作了进一步的说明，其中：

附图1,2表示一个具有一个唯一的蒸发区的蒸发舟的俯视图和横截面图，其中，在径向相互相对的紧固面范围内设有一组孔，以及

图3表示一个按本发明的蒸发舟的俯视图，装有多个成排前后排列的用于熔化物料和蒸发的区域。

在蒸发舟支座的紧固钳冷却时，在传统的蒸发舟中随着蒸发舟中心的最热区而产生温度下降。按本发明，经过此总长约2～3厘米的区(空穴总长为9厘米时)，每单位表面所蒸发的铝相当于空穴表面剩余部分(凹槽表面)上的两倍。