[实用新型]一种可变形反射镜无效
| 申请号： | 96210472.8 | 申请日： | 1996-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN2276676Y | 公开（公告）日： | 1998-03-18 |
| 发明（设计）人： | 叶嘉雄;张国平;沈永平;张学明;汪伟峰;李思涛 | 申请（专利权）人： | 华中理工大学 |
| 主分类号： | H01S3/086 | 分类号： | H01S3/086 |
| 代理公司： | 华中理工大学专利事务所 | 代理人： | 骆如碧 |
| 地址： | 430074 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光学技术,特别适用于高效二氧化碳激光谐振腔场合。这是一种三自由度波前模式可变形反射镜,它由三个压电陶瓷构成分离致动双层整体式结构,上下层之间用螺钉联接,它们中间为变形反射镜,在微位移致动器与变形反射镜之间设有圆柱顶头,在圆柱顶头的一端设有微调装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变形 反射 | ||
【主权项】：
1.一种可变形反射镜，其特征为它由三个压电陶瓷PZT1(1)(微位移致动器)、PZT2(2)和PZT3(3)构成分离致动双层整体式结构，其中PZT2(2)和PZT3(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上，所述上层(5)与PZT1(1)为螺钉联接，下层(6)与上层(5)为螺钉联接，(9)为变形反射镜，在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8)，(7)为离焦调整装置，它为微调装置。
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