[实用新型]一种可变形反射镜

说明书

本实用新型涉及一种光学技术，特别适用于高效二氧化碳激光谐振腔场合。

由于目前二氧化碳激光器均采用固定面形的谐振腔反射镜，特别是高能二氧化碳激光器在运行过程中，谐振腔反射镜受热发生变形和腔内激活介质折射率变化造成输出功率降低和光束质量蜕化。通过人工干预和机械微调只能校正谐振腔的二维倾斜象差，无法消除高于二阶(含二阶)的象差，且人工干预不能进行实时校正。虽然目前已有9单元可变形反射镜用于二氧化碳激光器谐振腔，但其结构复杂，响应速度慢，控制系统复杂。

针对上述现有技术存在的缺点，本实用新型的目的是提供一种三自由度模式可变形反射镜。

本实用新型通过以下技术措施实施，它由三个压电陶瓷PZT₁(1)(微位移致动器)、PZT₂(2)和PZT₃(3)构成分离致动双层整体式结构，其中PZT₂(2)和PZT₃(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上，所述上层(5)与PZT₁(1)螺钉联接，用于改变变形反射镜(9)的曲率，下层(6)与上层(5)螺钉联接，用于改变变形反射镜(9)直径两端点的位移，在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8)，(7)为离焦调整装置，它为微调装置。

本实用新型的优点为：变形反射镜三个自由度相互正交，彼此不耦合；微调焦变形反射镜调整精度高，调节方便，微位移致动器与变形镜之间的球头传力机构能将力始终作用在反射镜中心；镜片中心与边缘厚薄不均匀，使加载变形后的反射镜面仍接近于球面；增大变形镜的实际尺寸避开了边缘区域的面形误差影响。本实用新型离焦校正量为曲率半径从0.3m～∞～-12m的范围内连续变化，倾斜象差校正量为1.36mrad，所用的致动器数目最少，象差较正量大，象差模式拟合度高。

图1为三自由度波前模式可变形反射镜结构原理图

图2为图1的A-A剖视图

结合附图对本实用新型进一步说明如下：

本结构为三自由度波前模式可变形反射镜，它由三个压电陶瓷(1)、(2)和(3)构成分离致动双层整体式结构，其中PZT₂(2)和PZT₃(3)的端面通过螺钉(4)固定在机座上，所述上层(5)与PZT₁(1)为螺钉联接，下层(6)与上层(5)为螺钉联接，(9)为变形反射镜，在微位移致动器(1)与变形反射镜(9)之间设置圆柱顶头(8)，(7)离焦调整装置，它为微调装置。