[发明专利]作为合成酚醛清漆树脂的催化剂的酸性离子交换树脂和由该树脂制得的光刻胶无效
| 申请号： | 96199562.9 | 申请日： | 1996-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1207109A | 公开（公告）日： | 1999-02-03 |
| 发明（设计）人： | M·D·拉曼;D·P·奥宾;E·G·科金达;D·L·杜哈姆 | 申请（专利权）人： | 克拉里安特国际有限公司 |
| 主分类号： | C08G8/10 | 分类号： | C08G8/10;G03F7/023 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 黄泽雄 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种使用固体酸缩合催化剂来制备酚醛清漆树脂的方法,该树脂不溶于水、溶于碱水溶液,具有一致的分子量和非常低的金属离子含量。还提供了用这种酚醛清漆树脂生产低金属离子含量的光刻胶组合物的方法,和用这种光刻胶组合物生产半导体装置的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 作为 合成 酚醛 清漆 树脂 催化剂 酸性 离子交换 光刻 | ||
【主权项】：
1、制备水不溶的、碱水溶液可溶的酚醛清漆树脂的方法，包括a)在一种固体酸催化剂存在下，使甲醛和一种或多种苯酚化合物缩合；b)缩合反应后，去除催化剂，和c)去除未反应的苯酚化合物，借此生成一种水不溶的、碱水溶液可溶的成膜的酚醛清漆树脂，该树脂的钠和铁离子含量每种都少于200ppb。
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