[发明专利]作为合成酚醛清漆树脂的催化剂的酸性离子交换树脂和由该树脂制得的光刻胶

权利要求书

1、制备水不溶的、碱水溶液可溶的酚醛清漆树脂的方法，包括

a)在一种固体酸催化剂存在下，使甲醛和一种或多种苯酚化合物缩合；

b)缩合反应后，去除催化剂，和

c)去除未反应的苯酚化合物，借此生成一种水不溶的、碱水溶液可溶的成膜的酚醛清漆树脂，该树脂的钠和铁离子含量每种都少于200ppb。

2、权利要求1的方法，其中的所述催化剂是在缩合反应后可以被过滤除去的固体酸催化剂。

3、权利要求2的方法，其中所述的酸催化剂是不溶于取代苯酚、甲醛、PGMEA、DPGME、和MMB的酸性离子交换树脂。

4、权利要求3的方法，其中的钠和铁离子含量每种低于100ppb。

5、生产正性光刻胶组合物的方法，包括

a)在固体酸性催化剂存在下，使甲醛和一种或多种苯酚化合物缩合；

b)缩合反应后，去除催化剂，和

c)去除未反应的苯酚化合物，借此生成了水不溶的、碱水溶液可溶的成膜的酚醛清漆树脂，该树脂的钠和铁离子含量每种都少于200ppb；

d)提供一种下述成分的混合物：1)其数量足够对光刻胶组合物产生光敏作用的一种光敏组分；2)水不溶的、碱水溶液可溶的成膜酚醛清漆树脂和3)合适的光刻胶溶剂，这样形成一种光刻胶组合物。

6、权利要求5的方法，其中的所述催化剂是在缩合反应后可以被过滤除去的固体酸催化剂。

7、权利要求6的方法，其中所述的催化剂是一种离子交换树脂。

8、权利要求5的方法，其中的钠和铁离子含量每种低于100ppb。

9、权利要求5的方法，所述的光刻胶溶剂选自丙二醇甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、2-庚酮、、3-乙氧基丙酸乙酯。

10、通过在适宜的基底上形成光影像来生产半导体装置的方法，包括：

a)在固体酸性催化剂存在下，使甲醛和一种或多种苯酚化合物缩合；

b)缩合反应后，去除催化剂，和

c)去除未反应的苯酚化合物，借此生成了水不溶的、碱水溶液可溶的成膜的酚醛清漆树脂，该树脂的钠和铁离子含量每种都少于200ppb；

d)提供一种下述成分的混合物：1)其数量足够对光刻胶组合物产生光敏作用的光敏组分；2)水不溶的、碱水溶液可溶的成膜酚醛清漆树脂和3)一种合适的光刻胶溶剂，这样形成一种光刻胶组合物；

e)用一种光刻胶组合物涂敷适合的基底；

f)加热涂敷了的基底，直到基本上去除了所有的光刻胶溶剂；使光敏组合物曝光成象，并用合适的显影剂去除这种组合物的曝光成象面积，例如用碱性水溶液显影剂。

11、权利要求10的方法，其中的所述催化剂是在缩合反应后可以被过滤除去的固体酸催化剂。

12、权利要求10的方法，其中所述的催化剂是一种离子交换树脂。

13、权利要求10的方法，其中的钠和铁离子含量各降低到少于100ppb。

14、权利要求10的方法，其中所述的光刻胶溶剂选自丙二醇甲基醚乙酸酯、乳酸乙酯、2-庚酮和3-乙氧基丙酸乙酯。