[发明专利]垂直扩散炉中的载片舟无效
| 申请号： | 96110592.5 | 申请日： | 1996-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN1153834A | 公开（公告）日： | 1997-07-09 |
| 发明（设计）人： | 崔相国;高赫俊;安愿植;徐顺采 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C30B31/14 | 分类号： | C30B31/14 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范本国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一种装载片子的方法中，一种舟使得能够减少垂直扩散炉内片子中产生的晶体缺陷并提高工艺均匀性。提供了一种舟，它包含一对用来支持片子面对面二边的侧面舟杆、一对彼此比侧面舟杆靠得更近且平行于侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆、以及以相等的角度倾斜地形成并固定于侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。因此，即使处理大直径片子时，也可防止扩散工艺中产生晶体缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 扩散 中的 载片舟 | ||
【主权项】：
1.一种舟，它包含：一对用来支持片子面对面二个边缘的侧面舟杆；一对彼此比所述侧面舟杆靠得更近且平行于所述侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆；以及以相等的角度倾斜地形成并固定于所述侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社，未经三星电子株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/96110592.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有卷轴传感器棱镜装置的盒式录像机
- 下一篇：多表位疫苗
