[发明专利]垂直扩散炉中的载片舟无效

专利信息
申请号: 96110592.5 申请日: 1996-07-18
公开(公告)号: CN1153834A 公开(公告)日: 1997-07-09
发明(设计)人: 崔相国;高赫俊;安愿植;徐顺采 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: C30B31/14 分类号: C30B31/14
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 范本国
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 垂直 扩散 中的 载片舟
【权利要求书】:

1.一种舟,它包含:

一对用来支持片子面对面二个边缘的侧面舟杆;

一对彼此比所述侧面舟杆靠得更近且平行于所述侧面舟杆安装的用来支持片子边缘的后部舟杆;以及

以相等的角度倾斜地形成并固定于所述侧面舟杆和后部舟杆的凸出物。

2.权利要求1所述的舟,其中在所述侧面舟杆中的所述凸出物的位置比所述后部舟杆的凸出物高出一个距离Atanθ,其中θ是所述倾斜凸出物的角度,而A表示所述侧面盘杆和后部舟杆之间的距离。

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