[发明专利]分离和回收过氟化合物气体的工艺方法和系统无效

专利信息
申请号: 96110278.0 申请日: 1996-07-16
公开(公告)号: CN1150057A 公开(公告)日: 1997-05-21
发明(设计)人: Y·E·李;J·E·帕加尼希;D·瓦萨罗;G·K·福莱明格 申请(专利权)人: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
主分类号: B01D53/22 分类号: B01D53/22;B01D53/68
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 张闽
地址: 法国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在此给出了从气体混合物中回收至少一种过氟化合物气体的工艺和系统。在一个实施方案中,本发明方法包括以下步骤a)提供一包括至少一种过氟化合物气体和至少一种载气的气体混合物;气体混合物处于预先设定的压力下;b)提供至少一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜;c)将至少一个聚合物膜的进料侧与气体混合物相接触;d)在基本上与预先设定的压力相同的压力下从膜的进料侧将一基本上含有至少一种过氟化合物气体的浓缩气体混合物取出作为不渗透物流;以及e)从膜的透过侧将一基本上含有至少一种载气的乏气混合物取出作为透过物流。
搜索关键词: 分离 回收 氟化 气体 工艺 方法 系统
【主权项】:
1.一种从气体混合物中回收至少一种过氟化合物气体的工艺方法,其特征在于如下步骤:a)提供包括至少一种过氟化合物气体和至少一种载气的气体混合物,所说的气体混合物处于第一压力和第一温度下;b)提供第一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜;c)将所说的第一膜的进料侧与上述的气体混合物相接触;d)在基本上与上述预先设定的压力相同的压力下从第一膜的进料侧将一基本上含有至少一种过氟化合物气体的浓缩气体混合物取出作为第一不渗透物流;并e)从所说的第一膜的透过侧将一基本上含有至少一种载气的乏气混合物取出作为第一透过物流。
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