[发明专利]分离和回收过氟化合物气体的工艺方法和系统

权利要求书

1.一种从气体混合物中回收至少一种过氟化合物气体的工艺方法，其特征在于如下步骤：

a)提供包括至少一种过氟化合物气体和至少一种载气的气体混合物，所说的气体混合物处于第一压力和第一温度下；

b)提供第一个具有进料侧和透过侧的玻璃态聚合物膜；

c)将所说的第一膜的进料侧与上述的气体混合物相接触；

d)在基本上与上述预先设定的压力相同的压力下从第一膜的进料侧将一基本上含有至少一种过氟化合物气体的浓缩气体混合物取出作为第一不渗透物流；并

e)从所说的第一膜的透过侧将一基本上含有至少一种载气的乏气混合物取出作为第一透过物流。

2.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于用一压缩机将上述的气体混合物压缩为其提供压力。

3.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于：在上述的气体混合物进入第一膜的进料侧之前先对其进行预处理，以在上述气体混合物进料加入膜的进料侧之前基本上将绝大多数对膜有害的物质除去。

4.根据权利要求2的工艺方法，其进一步的特征在于上述的气体混合物在压缩之前先对其进行处理以在压缩之前基本上将绝大多数对压缩机有害的物质除去。

5.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征为所说的膜包括许多中空纤维。

6.根据权利要求5的工艺方法，其进一步的特征在于所说的膜的进料侧包括各个上述许多中空纤维的开孔侧，而透过侧为各中空纤维的外侧。

7.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征为过氟化合物气体是选自碳氟化合物、NF₃、SF₆、C₃F₈及其混合物。

8.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征为载气选自Ar、N₂、Kr、Xe、Ne、O₂、He、H₂、CO、CO₂、H₂O及其包括空气在内的混合物。

9.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征为透明聚合物膜是由选自聚酰亚胺、聚酰胺、聚酰胺-酰亚胺、聚酯、聚碳酸酯、聚砜、聚醚砜、聚醚酮、烷基取代的芳族聚酯、聚醚砜共混物、氟化芳族聚酰亚胺、聚酰胺和聚酰胺-酰亚胺、及其共聚物以及取代聚合物的至少一种聚合物所制成的。

10.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于将第一不渗透物流送往与第一膜相似的第二膜的进料侧，所说的第二膜产生过氟化合物浓度高于第一不渗透物流的第二不渗透物流；上述过程连续进行N级。

11.根据权利要求10的工艺方法，其进一步的特征在于将第一透过物流排放掉而将来自第二膜的第二透过物流循环回到第一膜的进料侧。

12.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于将至少一部分第一不渗透物流再循环。

13.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于不渗透物流包括选自SF₆、C₂F₆、CHF₃、CF₄及NF₃的过氟化合物气体的混合物。

14.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于将不渗透物流的至少一种过氟化合物气体与上述的不渗透物流中的其它过氟化合物气体进一步分离。

15.根据权利要求1的工艺方法，  其进一步的特征在于将至少一部分第一不渗透物流用作第一膜的进料侧的吹除气。

16.根据权利要求10的工艺方法，其进一步的特征在于将来自第N级的至少一部分第N级不渗透物流用作其前置的任一膜的进料侧和/或第N级膜的进料侧的吹除气。

17.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于本工艺是在将上述第一不渗透物流中的一种或多种过氟化合物气体的浓度设置为恒定值下进行操作的。

18.根据权利要求1的工艺方法，其进一步的特征在于将透过物流进行再循环或送去储存。