[发明专利]可变形反射镜器件及其加工方法

摘要

提供了一种可变形反射镜器件及加工方法，它减少了带有地址扫描电路的衬底的损坏并增加了移动反射镜的光反射效率。在加工方法中，第一和第二移动反射镜，及第一和第二柱体是加工在一个衬底上。地址扫描电路(SRAM)是单独加工在另一个衬底上。最后，两个衬底结合在一起。第二柱体是在第二移动反射镜被形成后用溅射法垂直形成的。

主权项

1.一种加工可变形反射镜器件的方法，该可变形反射镜器件包括带有地址扫描电路的衬底、多个形成在所述衬底的表面上的电极、可旋转的形成在所述电极上方的第一移动反射镜、在所述电极与第一移动反射镜之间用于支承所述第一移动反射镜的第一柱体、形成在所述第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由所述第二柱体以旋转方式支承的第二移动反射镜，该方法包括的步骤有：在一个衬底上形成所述第二移动反射镜，使它有一个预定的图案；在所述第二移动反射镜上形成所述第二柱体；在所述第二柱体上形成所述第一移动反射镜；在所述第一移动反射镜上形成所述第一柱体；在所述第一柱体上形成所述电极；和把所述第一和第二移动反射镜、所述第一和第二柱体、及所述电极的组合与所述衬底结合在一起。