[发明专利]可变形反射镜器件及其加工方法

权利要求书

1.一种加工可变形反射镜器件的方法，该可变形反射镜器件包括带有地址扫描电路的衬底、多个形成在所述衬底的表面上的电极、可旋转的形成在所述电极上方的第一移动反射镜、在所述电极与第一移动反射镜之间用于支承所述第一移动反射镜的第一柱体、形成在所述第一移动反射镜的表面上的第二柱体、和由所述第二柱体以旋转方式支承的第二移动反射镜，该方法包括的步骤有：

在一个衬底上形成所述第二移动反射镜，使它有一个预定的图案；

在所述第二移动反射镜上形成所述第二柱体；

在所述第二柱体上形成所述第一移动反射镜；

在所述第一移动反射镜上形成所述第一柱体；

在所述第一柱体上形成所述电极；和

把所述第一和第二移动反射镜、所述第一和第二柱体、及所述电极的组合与所述衬底结合在一起。

2.权利要求1所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所述第一和第二移动反射镜是用溅射铝形成的。

3.权利要求1所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所述第一和第二移动反射镜是用蒸铝形成的。

4.权利要求1所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所述第一和第二柱体是由导电金属制成的。

5.权利要求1所述的加工可变形反射镜器件的方法，其特征在于所述第二柱体是用溅射法从第二移动反射镜垂直延伸形成的。