[实用新型]7.35微米窄带滤光片无效

专利信息
申请号: 95244863.7 申请日: 1995-10-12
公开(公告)号: CN2273423Y 公开(公告)日: 1998-01-28
发明(设计)人: 严义埙;朱玲心;张麟;黄泳宝;张素英;张文德 申请(专利权)人: 中国科学院上海技术物理研究所
主分类号: G02B5/22 分类号: G02B5/22
代理公司: 上海华东专利事务所 代理人: 高毓秋
地址: 200083*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供了一种7.35微米红外窄带滤光片,它是以硅为基板,硒化锌,碲化铅为膜层材料,采用真空蒸镀制备的干涉滤光片。膜系设计采用波形系数良好,高级次半波层的三半波膜系。滤光片成品为外径φ12毫米,厚0.8毫米的圆片,除主峰外全部波段范围截止深度优于0.5%。本实用新型适于批量生产,成品率高。产品光学性能及膜层牢固度满足使用要求,特别适合于环境SO2监测钢铁硫含量等分析仪器。
搜索关键词: 7.35 微米 窄带 滤光
【主权项】:
1、一种滤光片,在基板的二个面上分别蒸镀多层介质膜组成,其特征为:a.基板(1)为表面抛光直径φ12毫米,厚0.8微米的硅材料;b.镀层介质膜材料选用硒化锌(3)及碲化铅(2),在真空镀膜机中交替蒸镀多层干涉膜;c.第一面膜系用:ns/LH4LHLHL4LHLHLH4LH2L/no;第二面膜系采用:aS/0.58[L2HL2]6L[LHL]4/no排列式中各符号的含义分别为:ns代表硅基板,L代表硒化锌的λo/4层,H代表碲化铅的λo/4层,中心波长λo为7.35微米,no表示空气。
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