[实用新型]7.35微米窄带滤光片

说明书

本实用新型属于光学技术领域，涉及一种除透镜以外的光学部件，是一种选择所需红外光谱的滤光片。

红外分析仪是利用气体红外特征吸收峰测定气体含量的仪器，选择特定波长的红外气体分析滤光片无疑是红外气体分析仪的关键部件。现红外分析仪以其快速、精度高的特点已广泛应用于化工、环保、钢铁、医学、军工等部门。

由于SO₂气体在7.35微米波长处具有一较强特征吸收光谱，通过探测气体对选择7.35微米波长滤光片红外光谱的衰减可推算其含量。

本实用新型的目的是提供一种中心波长为7.35微米的红外窄带滤光片。

本实用新型通过以下技术方案实现：

1、以表面抛光φ12×0.8mm的硅作基片；

2、镀层介质材料选用硒化锌和碲化铅，在基板的二个面上分别真空蒸镀多层干涉薄膜。

3、第一面膜系采用：

   n_s/LH4LHLLH4LHLHLH4LH2L/n_o；

   第二面膜系采用： n s / 0.58 [ L 2 H L 2 ] 6 L [ LHL ] 4 / n o ]]>式中各符号的含义分别为：n_s表示硅基板；L表示硒化锌的λ_o/4层，H表示碲化铅的λ_o/4层；中心波长λ_o为7.35微米；n_o表示空气。

本实用新型的附图说明如下：

图1为本实用新型第一面和第二面膜排列示意图。图中示出了基板1和硒化锌涂层3及碲化铅涂层2。

图2为本实用新型第一面膜系，即主膜系的光谱透过率曲线。

图3为本实用新型第二面膜系即次峰截止膜系的光谱透过率曲线。

图4为本实用新型7.35微米滤光片产品光谱透过率曲线。

下面对本实用新型实施方式和特点进行说明：由于本滤光片对波形系数要求较高，故膜系采用多层三半波结构，为达到要求的较窄带宽，采用了高级次半波层采压窄带宽。

第一面膜系和第二面膜系分别通过真空镀膜将硒化锌和碲化铅膜料交替蒸镀在基片的二个面上。其第一面与第二面膜系的光谱曲线分别在图2和图3中示出，其膜系示意排列在图1中示出。

选用高折射率窄禁带碲化铅材料，利用其本征吸收特性截除低于3.8微米的次峰，并加深截止深度。

为减小背景干扰，滤光片中心波长定位精度要求在±0.025微米范围内，采用了优良的膜厚监控方法。

采用的反射式奇级次间接直控法光电监控，由于该膜厚监控方法层与层的补偿良好，而使高生能7.35微米滤光片的制备提高了成品率，形成了批量生产。

经试制检测本滤光片性能实测结果如下：

1、成品外形：外径φ12毫米，厚0.8毫米；

2、中心波长：λ_o＝7.35^+0.05微米；

3、半宽度：Δλ_0.05＝0.25±0.02微米；