[实用新型]卧式三维运动多弧镀膜装置无效
| 申请号： | 95244082.2 | 申请日： | 1995-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN2231261Y | 公开（公告）日： | 1996-07-17 |
| 发明（设计）人： | 朱英臣;侯跃清 | 申请（专利权）人： | 朱英臣;侯跃清 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海市郊县工业专利事务所 | 代理人： | 赵永莉 |
| 地址： | 116012 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于所述的弧靶在炉体内呈间隔设置；炉体内设置有带往复运动机构的台车，所述的挂件架固定在上述的台车上；设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。能加工长度超过3米的工件，具有弧靶总功率小、炉体长度短、设备投资少等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 三维 运动 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
1.一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的弧靶在炉体内呈间隔设置；炉体内设置有带往复运动机构的台车，所述的挂件架固定在上述的台车上；设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。
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