[实用新型]卧式三维运动多弧镀膜装置

权利要求书

1.一种包含炉体、炉门、设置于炉体内的弧靶、具有行星轮系和旋转轴的挂件架、和传动轴的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的弧靶在炉体内呈间隔设置；炉体内设置有带往复运动机构的台车，所述的挂件架固定在上述的台车上；设置有将旋转轴和传动轴相连的伸缩式联轴器。

2.根据要求1所述的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的伸缩式联轴器由花键轴颈和花键套筒构成。

3.根据要求1所述的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的伸缩式联轴器包含设置在旋转轴上的开有两个对称轴向长孔的套筒和设置在传动轴上的用销对称固定的两个滑块或滚动轴承，两个滑块或滚动轴承分别嵌入上述的两个轴向长孔内。

4.根据要求1所述的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的往复运动机构包含设置在台车右端的联结块和滑块框、和以滑块与滑块框相连以曲柄轴与电机减速装置相连的复合式曲柄滑块。

5.根据要求1所述的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：所述的往复运动机构是曲柄连杆式住复运动机构。

6.根据要求1所述的卧式三维运动多弧镀膜装置，其特征在于：设置有固定炉门且在炉体外的导轨上行走的炉门小车。