[发明专利]低金属离子含量的对－甲酚低聚物和光敏的组合物

摘要

用于生产包括对—甲酚低聚物的重氮酯的光敏剂的方法，其中将对—甲酚低聚物中的６０至１００％摩尔的羟基用一个或多个重氮磺酰氯酯化，重氮酯部分包括６０至１００％摩尔２，１－二重氮萘醌－４磺酸酯和／或２，１－二重氮萘醌－５－磺酸酯；光刻胶包括光敏剂，水不溶性的，碱性水溶液可溶的酚醛树脂清漆树脂和适当的溶剂的混合物，在光刻胶组合物中存在的光敏剂的量足以均匀地光敏化光刻胶组合物；在光刻胶组合物中存在的酚醛清漆树脂的量足以形成基本上均匀的光刻胶组合物。

主权项

1．一种制备正性光刻胶组合物的方法，包括以下步骤：a)制备钠离子含量≤650ppb、铁离子含量＜20ppb和钾离子含量＜20ppb的对-甲酚低聚物：在水中和酸催化剂存在下，使对-甲酚与甲醛水溶液反应，去除水和过量的未反应的对-甲酚，往低聚物中加入选自丙酮和甲醇中的一种极性有机溶剂，并通过具有孔径尺寸0.01μm至0.10μm的过滤器过滤该溶液；(b)制备光敏组分：将来自步骤(a)的对-甲酚低聚物中的60至100％摩尔的羟基用一个或多个重氮磺酰氯酯化，重氮酯部分包括60至100％摩尔2,1-二重氮萘醌-4磺酸酯和/或2,1-二重氮萘醌-5-磺酸酯；(c)提供来自步骤(b)的光敏组分，水不溶但碱水溶液可溶的酚醛清漆树脂，和适用的光刻胶溶剂的混合物；其中该光敏组分含量以非溶剂组分的重量计为1-35％重量，以均匀地光敏化光刻胶组合物；所述树脂在该光刻组合物中的含量以该非溶剂组分的重量计为65-99％重量，从而形成基本上均匀的光刻胶组合物。