[发明专利]用于阳极粘接电容式传感器的电极结构和方法无效
| 申请号： | 95192345.5 | 申请日： | 1995-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN1146823A | 公开（公告）日： | 1997-04-02 |
| 发明（设计）人： | 基思·O·沃伦 | 申请（专利权）人： | 利顿系统公司 |
| 主分类号： | H01G7/00 | 分类号： | H01G7/00;G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 范本国 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 阳极粘接电容式传感器(10)的玻璃层(14，16)上的检测电极(24，26)在电极(24，26)和玻璃层(14，16)之间还具有一层含氮化物的交界面阻挡层(46)。在一个实施方式中，电容式传感器(10)是一个惯性传感器，其检测元件(20)铰连到与玻璃层(14，16)阳极粘接的框架结构(18)上。检测电极(24，26)则位于玻璃层(14，16)面对检测元件(20)的表面。检测元件(20)和框架结构(18)最好由硅构成，交界面薄膜(46)最好由氮化硅构成。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阳极 电容 传感器 电极 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阳极粘接电容式传感器，它包括：具有框架结构的检测元件；至少一层阳极粘接到这个框架结构并且具有一个在检测元件附近的金属检测电极的玻璃层；以及一层位于玻璃层和金属检测电极之间的交界面阻挡层。
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