[发明专利]氮化硅烧结体及其制造方法无效
| 申请号： | 95191835.4 | 申请日： | 1995-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1059652C | 公开（公告）日： | 2000-12-20 |
| 发明（设计）人： | 中畑成二;竹内久雄;山川晃 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C04B35/591 | 分类号： | C04B35/591 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 徐汝巽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明缩短了制造氮化硅烧结体时反应烧结中的氮化时间，从而提高了生产率；并且通过反应烧结得到致密且高强的氮化硅烧结体。Si3N4烧结体的未配对电子浓度为１０15～1021/cm3。市售Ｓｉ粉末在非氮气气氛中于３００～８００℃下煅烧３～５小时得到未配对电子浓度为１０15～1020/cm3的Si粉末,使用所得的Si粉末进行反应烧结得到氮化硅烧结体。特别是，在所得的Ｓｉ粉末中添加烧结助剂的同时添加价态尤其为＋１～＋３价且其共价键半径ＲＭ与Ｓｉ的共价健半径ＲＳｉ之间有（ＲＭ－ＲＳｉ）／ＲＳｉ〈０．５的关系的元素或其化合物作为氮空位形成剂，并把所得的混合体进行反应烧结制造出Ｓｉ3N4烧结体。 | ||
| 搜索关键词： | 氮化 烧结 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过Si粉末的反应烧结得到的氮化硅烧结体，其特征在于氮化硅烧结体的未配对电子浓度为1015/cm3～1021/cm3，并且它含有元素换算值为0.1-15mol％的选自稀土元素、Al、Mg、Ca的至少一种元素，以及含有元素换算值为0.5-15mol％的价态为+1～+3价且其共价键半径RM与Si的共价键半径RSi之间有(RM-RSi)/RSi＜0.5的关系的除Al、Mg、Ca以外的元素。
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