[发明专利]芯片插接模块的封装方法及实施该方法所用的装置无效
| 申请号: | 95121694.5 | 申请日: | 1995-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN1050224C | 公开(公告)日: | 2000-03-08 |
| 发明(设计)人: | 福兰克·T·舒密特;露兹·舒罗菲尔 | 申请(专利权)人: | 奥顿伯格数据系统公司 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 郑修哲 |
| 地址: | 联邦德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 在一种用可固化的液体状浇铸材料对芯片插件模块进行单侧封装的方法中,流入贯穿到芯片插件模块的接触表面的孔洞内的浇铸材料在封闭该孔洞时由于辐射作用而固化,从而阻止其从位于接触表面上的孔口流出。在用于实施本方法的设备中,设有大约位于封装区域下方的支承表面中的一个空腔,而该封装区域由在支承表面上可与接触表面一起被固定定位的载体形成;和至少一个能对准载体的辐射源,用该辐射源至少能发射出使流入到孔洞中的浇铸材料固化的辐射线。 | ||
| 搜索关键词: | 芯片 插接 模块 封装 方法 实施 所用 装置 | ||
【主权项】:
1.用规定剂量加入的能固化的液体状态的浇铸材料,对芯片插件模块进行单侧封装的方法,其中,该芯片插件模块具有接触表面,至少一个集成电路组件和使集成电路组件与接触表面连接的导线,以及在封装区域内能贯通到接触表面的按结构需要有意设置和/或按加工需要偶然设置的孔洞,其特征在于,流进上述孔洞内的液体状浇铸材料由于受辐射作用而硬化,从而堵塞封住孔洞,由此阻止浇铸材料从接触表面上敞开的孔洞的孔口流出。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





