[发明专利]控制电火花刻蚀工序的方法与设备无效
| 申请号: | 95119731.2 | 申请日: | 1995-11-17 |
| 公开(公告)号: | CN1131071A | 公开(公告)日: | 1996-09-18 |
| 发明(设计)人: | A·马切西;M·波卡多罗 | 申请(专利权)人: | 洛迦诺电子工业股份有限公司 |
| 主分类号: | B23H1/02 | 分类号: | B23H1/02;B23H7/30;B23H7/18 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 程天正,萧掬昌 |
| 地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 在工件(7)和电极(6)、如一个微钻孔电极之间控制电火花刻蚀工序的方法和设备,按如下措施使刻蚀工序受干扰较少,即沿待刻蚀段的第一测试段至少测量一个工序参数,由测量值至少求得一个控制值并把此值用到一个待刻蚀段的随后时间的刻蚀间距中。控制值优先用于控制电极(6)的适宜进给速度。按如下措施可进一步减少干扰,即把短路区分为机械短路和其它形式的短路及在机械短路时电极运动的控制不同于其它形式的短路。 | ||
| 搜索关键词: | 控制 电火花 刻蚀 工序 方法 设备 | ||
【主权项】:
1.在至少一个工件(7)和至少一个电极(6)特别是微钻孔电极之间控制至少一个电火花刻蚀工序的方法,其特征在于,a,至少在一个待刻蚀段的一个间距内采集至少一个工序参数的若干测量值,b,由至少一个工序参数的这些测量值求得一个或多个控制值,并且c,这些值至少其中有一部分在至少一个随后时间的刻蚀间距中用于控制电火花刻蚀工序。
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