[发明专利]控制电火花刻蚀工序的方法与设备

权利要求书

1.在至少一个工件(7)和至少一个电极(6)特别是微钻孔电极之间控制至少一个电火花刻蚀工序的方法，其特征在于，

a，至少在一个待刻蚀段的一个间距内采集至少一个工序参数的若干测量值，

b，由至少一个工序参数的这些测量值求得一个或多个控制值，并且

c，这些值至少其中有一部分在至少一个随后时间的刻蚀间距中用于控制电火花刻蚀工序。

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，至少所求得的控制值之一含有一个适合于所希望工件加工的数个电极(6)的进给速度(Va)。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，进给速度(Va)由在测量间距内电极(6)的平均进给速度求得。

4.根据权利要求3所述方法，其特征在于，进给速度(Va)小于测量间距内的平均进给速度。

5.根据权利要求4所述方法，其特征在于，进给速度(Va)由在测量间距内的平均进给速率乘以系数(Ka)求得，此系数小于1。

6.根据权利要求5所述方法，其特征在于，乘数系数(ka)是电极直径/工件厚度比值的函数。

7.根据上述任一项权利要求所述方法，其特征在于，电极(6)至少在一个时间上跟随在测量间距之后的刻蚀间距中、特别是在刻蚀段的终端间距中用求得的进给速度(Va)至少如来出现短路情况那样长时间地保持恒定运动。

8.根据上述任一项权利要求所述方法，其特征在于，对机械的和其它形式的短路予以区分并且在机械短路时电极运动的控制与其它形式的短路不同。

9.根据权利要求8所述方法，其特征在于，机械的和其它形式的短路的区分是利用短路电压和/或短路持续时间进行的。

10.根据权利要求8或9所述方法，其特征在于，短路持续时间可与短路持续时间-阈值(Dkm)相比较，其中，短路持续时间-阈值(Dkm)是电极直径/工件厚度比值的函数。

11.根据权利要求8至10其中之一所述方法，其特征在于，电极(6)在机械短路期间以恒定的速度后退，而与此相反，特别是在其它形式的短路期间电极向前运动。

12.根据权利要求11所述方法，其特征在于，后退速度大于进给速度。

13.根据上述任一项权利要求所述方法，其特征在于，至少一个待刻蚀的段被精确地分成两个间距，其中，第一个间距用于求得一个或多个控制值、特别是取得进给速度(Va)以用于第二间距内电火花刻蚀工序，其中第一间距与第二间距的比值(ks)是电极直径/工件厚度比值的函数。

14.根据上述任一项权利要求所述方法，其特征在于，为微钻孔设计了电极(6)并且钻孔直径是由进给速度(Vb)控制，此速度不大于根据权利要求1至7其中之一所求得的进给速度(Va)，并且根据公式Vb＝kd*Ni*kk*4/(Pi*D*D)和所希望的孔径D来确定，其中   

Ni＝单位时间放电次数

D＝所希望的孔径(＝2*sqrt(A/Pi))

A＝相应的面积(kd*Ni*kk/Vb)

Kd＝电蚀量系数＝每次放电电蚀下来的体积

kk＝有效系数＝短路次数与放电次数之比

Pi＝3.1415…

Sqrt＝平方根

Vb＝进给速度

15.在至少一个工件(7)和至少一个电极(6)、特别是一个微钻孔电极之间实现和控制至少一个电火花刻蚀工序的设备，该设备包括：实现至少一个工件和至少一个电极之间相对运动的驱动器和驱动器控制部件(1、2、4、4a、9)、产生刻蚀火花的发生器部件(8)、测量工序参数数值的部件(3、5)、把这些测量数值转换成控制值的部件(9)以及存储部件(10-14)，其特征在于，

a，测量工序参数数值的部件(3、5)在一个待刻蚀段的至少一个间距内，为至少一个工序参数采集若干数值，

b，转换这些测量值为控制值的部件(9)由至少一个工序参数的测量值求得一个或多个控制值，

c，存储部件(10-14)存储如此得到的控制值，并且

d，驱动器控制部件(1、2、9)应用这些值、至少是部分控制值来控制至少一个随后时间的刻蚀间距。