[发明专利]包含一可更换的靶构件的可旋转磁控管

摘要

一种能高效拆卸和更换靶构件的改进型可旋转磁控管，它有包含至少一个转轴的轴向可移构件，该可移构件可为啮合靶件而伸展或为脱开靶构件而退缩；还有用以伸入靶构件范围内的一磁构件的装置，以选择地固定磁构件的旋转位置；以及最好还有整体封入盒内的水和真空密封装置，设置于该改进型可旋转磁控管的转轴和密封外壳之间。

主权项

1.在一真空室范围内的可旋转磁控设备(图1至5)，该真空室具有(1)包括形成在一靶圆筒(14)的外侧面上的靶表面(34)的靶构件，该靶圆筒是可围绕其中心轴(38)旋转的并有确定其间靶长度(L)的第一(14a)和第二(14b)靶端，(2)第一和第二支承构件(22，24)，它们能分别对第一和第二靶端提供支撑，(3)分别由第一和第二支承构件承载的第一和第二转轴(30，32)，这些转轴能分别啮合第一和第二靶端，以及(4)置于靶件范围内并基本沿靶长度伸展的磁构件40，所述靶构件可相对磁构件旋转，在所述可旋转磁控设备中，一个组合包括：所述第一转轴的特征在于可相对第一支承构件作轴向移动，以当相对于第一支承构件向外充分伸展时，啮合第一靶端，和当相对于第一支承构件向内充分退缩时脱离第一靶端；所述磁构件的特征在于：在靶构件范围内被如此承载，致使所述磁构件可自由地围绕中心轴旋转，以及由所述第一和第二支承构件之一附装并可作相对轴向移动的装置(42)，用于从所述一个支承构件伸入所述磁构件，以便有选择地相对所述一个支承构件固定所述磁构件的一个旋转位置。