[发明专利]包含一可更换的靶构件的可旋转磁控管

权利要求书

1.在一真空室范围内的可旋转磁控设备(图1至5)，该真空室具有

(1)包括形成在一靶圆筒(14)的外侧面上的靶表面(34)的靶构件，该靶圆筒是可围绕其中心轴(38)旋转的并有确定其间靶长度(L)的第一(14a)和第二(14b)靶端，

(2)第一和第二支承构件(22，24)，它们能分别对第一和第二靶端提供支撑，

(3)分别由第一和第二支承构件承载的第一和第二转轴(30，32)，这些转轴能分别啮合第一和第二靶端，以及

(4)置于靶件范围内并基本沿靶长度伸展的磁构件40，所述靶构件可相对磁构件旋转，在所述可旋转磁控设备中，一个组合包括：

所述第一转轴的特征在于可相对第一支承构件作轴向移动，以当相对于第一支承构件向外充分伸展时，啮合第一靶端，和当相对于第一支承构件向内充分退缩时脱离第一靶端；

所述磁构件的特征在于：在靶构件范围内被如此承载，致使所述磁构件可自由地围绕中心轴旋转，以及

由所述第一和第二支承构件之一附装并可作相对轴向移动的装置(42)，用于从所述一个支承构件伸入所述磁构件，以便有选择地相对所述一个支承构件固定所述磁构件的一个旋转位置。

2.根据权利要求1的设备，其特征在于还包括：

用于定位所述第一和第二转轴的装置(58，60)，所述第一(58)和第二(60)转轴定位装置分别由第一和第二支承构件承载，并可作相对轴向移动，以便由此伸入靶构件；以及

置于靶构件范围内的装置(62，64)，用于刚性地将所述第一和第二转轴定位装置固定到所述固定装置内，致使所述第一和第二转轴定位装置是轴向和相对旋转固定，从而有选择地刚性地固定所述第一和第二转轴的轴向位置，致使所述第一和第二转轴分别刚性地啮合第一和第二靶端。

3.根据权利要求1的设备，其特征在于：所述第二转轴是可相对第二支承构件作轴向移动的，以当相对第二支承构件，向外充分延伸时，啮合第二靶端，并当相对第二支承构件向内足够退缩时，脱离第二靶端。

4.根据权利要求3的设备，其特征在于还包括：

用于定位所述第一和第二转轴的装置(58，60)，所述第一(58)和第二(60)转轴定位装置分别由第一和第二支承构件承载并可作相对轴向移动，以便由此伸入靶构件；以及

置于靶构件范围内的装置(62，64)，用于将所述第一和第二转轴定位装置刚性地固定在所述固定装置内，致使所述第一和第二转轴定位装置相对处于轴向和旋转固定，从而有选择地刚性地固定所述第一和第二转轴的轴向位置，致使所述第一和第二转轴分别刚性地啮合第一和第二靶端。

5.根据权利要求2和4之任一个的所述设备，其特征在于：

所述第一转轴定位装置有一沿某一长度并邻近其外表面的构件(66)，用以啮合所述第一转轴，致使当第一转轴定位装置从第一靶端和向内相对第一支承构件足够退缩时，该啮合构件啮合所述第一转轴，从而同时退缩所述第一转轴。

6.根据权利要求4的所述设备，其特征在于：所述第二转轴定位装置有沿一长度并邻近其外表面的构件(68)用以啮合所述第二转轴，致使当第二转轴定位装置从第二靶端和相对第二支承构件向内足够退缩时，该啮合构件啮合所述第二转轴，从而同时退缩所述第二转轴

7.根据权利要求2和4之任一个所述设备，其特征在于：第一和第二定位装置之一，所述一个定位装置是由所述一个支承构件承载的中空的定位装置，所述固定装置被装在所述一个定位装置范围内并且轴向可作相对移动。

8.根据权利要求1的设备，其特征在于：所述固定装置包括在其一端的插头(44)，该插头能啮合置于所述磁构件范围内的一个固定部件(74)。

9.在一种类型的磁控管(图1至5)中更换靶构件的方法，该磁控管具有：

(1)靶构件，它包括形成在一靶筒(14)外侧上的靶表面(34)，该靶筒是可围绕其中心轴(38)旋转并具有界定其间的靶长度(L)的第一(14a)和第二(14b)靶端，

(2)第一(22)和第二(24)支承构件，它们能分别对第一和和第二靶端提供支承，

(3)分别由第一和第二支承构件承载的第一(30)和第二(32)转轴，它们能分别啮合第一和第二靶端，和

(4)磁构件(40)，它设置在靶构件范围内并基本上沿靶长度伸展，所述靶构件是可相对磁构件旋转的，所述更换是用其内有一替换磁构件的替换靶构件来替换原靶构件的，所述方法包括以下步骤：

(a)分别从第一和第二靶端断开所述第一和第二转轴；

(b)相对于第一和第二支承构件中离其最近的一个从第一和第二靶端中离其最近的一个，退缩至少一个所述已断开的转轴；

(c)从磁控管拆除靶构件；和

(d)使所述替换的靶构件的第一和第二靶端分别同所述第一和第二转轴相啮合。