[实用新型]横管中心靶卧式真空涂膜机无效
| 申请号： | 94242996.6 | 申请日： | 1994-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN2220476Y | 公开（公告）日： | 1996-02-21 |
| 发明（设计）人： | 王敬达;阙少咎;王荣金 | 申请（专利权）人： | 王平安 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214074 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于一种卧式真空涂膜机，该涂膜机由工作室，抽真空系统，工件架小车和工件架构成，其特征是工件架两端装有一根作为靶源的横管中心靶，且仅有一个引弧装置，故该直空涂膜机具有结构简单，故障率低，维修方便，涂膜质量高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 中心 卧式 真空 涂膜机 | ||
【主权项】：
1、一种横管中心靶卧式真空镀膜机，由工作室(1)和通过管道连接的抽真空系统(4)、工件架小车(15)及坐放其上的工件架(14)构成，其特征是工件架小车(15)两端板上安装有横管中心靶(11)，横管中心靶(11)两端安装有可变电磁线圈(13)，其内部安装有永久磁铁(12)，工件架小车(15)的前端板(19)上还安装有集电器(9)和引弧装置(10)，在工件室后盖(20)上安装有轰击源(3)，偏压源(22)、弧电源(6)和引弧电源(22)的接线柱。
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