[实用新型]横管中心靶卧式真空涂膜机

说明书

本实用新型属于一种真空涂膜机。

目前市场上销售和使用的用于板材涂复的真空镀膜机均为立式型，需较高大的厂房才能安装和使用，且这些涂膜机的工作室内壁上设置了多个蒸发源和引弧装置，其缺点是故障多，密封性差，检修困难，维修费用高。

本实用新型的目的是要提供一种横管中心靶卧式真空涂膜机，该涂膜机具有对厂房要求低，故障率低，密封性好，维修方便等特点。    

其技术方案是这样的，该机由卧式工作室(1)、通过管道相连的真空系统(4)和工作架小车(15)及坐放在工件架小车(15)上的工件架(14)构成。工件架小车(15)的中心轴位置上装有横管中心靶(11)，其前端板(19)上安装有集电器(9)、引弧装置(10)。工作室(1)的后盖(20)上安装有轰击源(3)、偏压源(22)、弧电源(6)和引弧电源(7)的接线柱。

本实用新型的进一步改进是在真空室后盖(20)上安装电机(2)，将工件架小车(15)两端板间的连接杆改为传动杆(18)和(17)，这样还可涂复管材工件。

工作时将横管中心靶(11)穿过工作架(14)安装在工件架小车(15)的两端板上，横管中心靶(11)的材料可视被加工工件涂层的要求采用铜、铝、钛等材料。在横管中心靶(11)的两端安装有可变电磁线圈(13)，其内部安装有永久磁铁(12)。将要涂复的板材工件环装在工件架(14)的内周或将要涂复的管材沿圆周挂在工件架(14)上，将工件架小车(15)推进工作室(1)内，并使四只集电器(9)和轰击源(3)，偏压源(22)、弧电源(6)和引弧电源(7)的接线柱相接，传动轴(18)上的离合齿轮(21)和电机(2)上的离合齿轮(5)相啮合，合上工作室端盖(16)。起动轴真空系统(4)向工作室(1)抽真空，其时接通电源，轰击源(3)对工件进行电子轰击清洗，偏压源(22)给工件提供一个负偏压，弧电源(6)通过集电器(9)提供横管中心靶(11)低电压，大电流，在工艺要求的真空条件下，通过后盖(20)上的进气口(8)送入适量的按不同涂层色彩要求选用的反应气体。引弧电源(7)接通后，引弧装置(10)在电磁铁的作用下，与靶材瞬间短路产生电弧使靶材蒸发电离，产生很强的离子流，靶材与工作室(1)之间形成稳定的自持放电，在靶材周围产生飞速运动的阴极斑，阴极斑在靶材内永久磁铁(12)及靶端可变电磁线圈(13)的强磁场作用下，环绕横管路心靶(11)加速运动，进一步使靶材电离，大大减少了镀膜蒸汽等离子体中微粒大、多和雾滴的现象。如果涂复管材只要起动电机(2)、电机(2)带动传动杆(18)，从而带动工作架(14)转动，管材工件随工件架(14)而运动，并得到充分的涂复。全离化金属等离子体对工件轰击加热，轰击源清洗沉积成膜，一弧三用，膜层结合牢固，膜层质量好。

本实用新型由于工作室采用卧式结构，适用于镀大面积板材和超长管材，且厂房要求不高，操作简便，由于只有一个靶材蒸发源只需一个引弧装置，结构简单，故障率低，维修方便。

图1为本实用新型的俯视图。

图2为工件架和工件架小车放大结构图。

图3为图2之A向视图。

图4为工作室(1)的放大主视图。