[发明专利]色差补偿的粒子束柱无效
| 申请号： | 94194857.9 | 申请日： | 1994-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1142280A | 公开（公告）日： | 1997-02-05 |
| 发明（设计）人： | 弗雷德里克·怀特·马丁 | 申请（专利权）人： | 弗雷德里克·怀特·马丁 |
| 主分类号： | H01J3/26 | 分类号： | H01J3/26 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 郑立 |
| 地址： | 美国新罕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种粒子束柱，包括一诸如液态金属离子源之类的针型离子源(1)、一个或多个圆透镜(2)、以及多个交错的四极透镜(14、16)。另外，一种离子束柱，包括一液态合金离子源(1)、交错的四极透镜(14、16)以及一维恩速度滤器(22)。这种柱产生了比只以静电透镜为基础的柱更精细聚焦的束，并且可以增加透镜小孔和允许更大的束流。 | ||
| 搜索关键词： | 色差 补偿 粒子束 | ||
【主权项】：
1、一种粒子光学柱，包括一针型粒子源，一分离电极，一聚光透镜，一用来形成精细聚焦的粒子束的交错四极透镜系统，其中交错透镜在电场与磁场的临界比处进行工作，这样，交错透镜的负色差抵消了所有其他粒子光学部件的正色差，而焦点直径基本上与粒子能量中的小的变化无关。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于弗雷德里克·怀特·马丁，未经弗雷德里克·怀特·马丁许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/94194857.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
