[发明专利]色差补偿的粒子束柱

权利要求书

1、一种粒子光学柱，包括一针型粒子源，一分离电极，一聚光透镜，一用来形成精细聚焦的粒子束的交错四极透镜系统，其中交错透镜在电场与磁场的临界比处进行工作，这样，交错透镜的负色差抵消了所有其他粒子光学部件的正色差，而焦点直径基本上与粒子能量中的小的变化无关。

2、如权利要求1所述的粒子光学柱，其特征在于，还包括位于离子源和交错四极透镜之间的维恩速度滤器，它用来产生单种物质的精细聚焦的粒子束。

3、如权利要求2中所述的分离物质的粒子光学柱，其特征在于，还包括一个在维恩滤器内交叉的束，从而相对于其中的较宽的束经过维恩滤器的那种柱减小了像差。

4、一种粒子光学柱，包括一针型粒子源，一个分离电极，多个用来形成精细聚焦粒子束的交错四极透镜，其中交错透镜在电场与磁场的临界比处进行工作，这样，它们对由针型粒子源和分离电极所产生的正色差不增加色差，而且与只采用静电透镜来形成细束的柱相比，减小了焦点直径对能量的依赖程度。

5、如权利要求4所述的粒子光学柱，其特征在于，还包括位于离子源与交错的四极透镜之间的维恩速度滤器，它产生单种物质的精细聚焦的粒子束。

6、如权利要求5所述的分离物质的粒子光学柱，其特征在于，还包括一个在维恩滤器中交叉的束，从而减小了其中的宽束经过维恩滤器的柱的像差。

7、一种粒子光学柱，用来形成精细聚焦的粒子束，包括一针型源和多个透镜，还包括一个交错的四极透镜系统，它在电场和磁场的临界比处进行工作，这样，交错透镜的负色差准确地抵消了所有其他粒子光学组件的正色差，而焦点直径基本上与在粒子能量中的小的变化无关。