[发明专利]电容压力传感器

摘要

电容压力传感器（１０）包括设在两个气密地分开的腔室（６０，６４）之间的薄膜（２０）。薄膜的外周由凹形的基座（３０）所支撑。电极组件（４０）具有一个与该导电薄膜相对置并且被一个标称的缝隙所分隔开的基本上为平面的导电表面（４２ａ）。该电极组件包括该导电表面和一个固定到基座部件并通过其而延伸的支撑部件（４４）。玻璃绝缘部件（４６）将该支撑部件固定到一个环套（４８）上，环套（４８）可熔接、硬焊或焊接到基座部件上。玻璃绝缘部件在电极和外罩之间提供机械支撑和电绝缘。通过预制成带环套的电极支撑部件和在绝缘部件固定后将环套固定到外罩上，可以低成本来避免热膨胀带来的问题并准确地控制标称缝隙的尺寸。

主权项

1.一个电容压力传感器，包括：A)围绕一个中心轴设置的外罩，所述外罩包括i)第一凹形基座部件，对称地设置于所述中心轴线周围，它有一外缘置于第一平面中，所述第一平面基本上垂直于所述中心轴线，所述第一凹形基座部件具有一第一开口围绕所述中心轴线扩展；以及ii)第二凹形基座部件，与所述第一凹形基座部件相对地对称设置于所述中心轴线周围，并且有一外缘置于所述第一平面内，所述第二凹形基座部件的外缘固定连接于所述第一凹形基座部件的所述外缘上；B)一个薄膜，其周边部分固定连接于所述第一基座部件的所述外缘和所述第二基座部件的所述外缘二者当中至少一个上。C)一个预先组装好的第一电极组合件，包括i)第一电极，它具有第一导电表面；ii)第一电极支撑部件，它固定连接于所述第一电极上并沿第一电极轴线延伸，所述第一电极轴线沿着基本上横穿所述第一导电表面的方向延伸；iii)第一环形环套，它位于所述第一电极支撑部件周围并与其基本上同心；iv)介电材料，将所述第一电极支撑部件刚性连接于所述第一环套；而且所述第一电极组合件按以下步骤刚性连接于所述第一凹形基座部件上：1)将所述第一环套置于所述第一开口之中，从而使所述第一导电表面与所述第一平面之间均匀地隔开一个预先确定的距离；2)将所述第一环套刚性连接于所述第一凹形基座部件上，保持所述第一导电表面与所述第一平面相对，并与其均匀地保持所述预先确定的距离。