[发明专利]电容压力传感器

权利要求书

1.一个电容压力传感器，包括：

A)围绕一个中心轴设置的外罩，

所述外罩包括

i)第一凹形基座部件，对称地设置于所述中心轴线周围，它有一外缘置于第一平面中，所述第一平面基本上垂直于所述中心轴线，所述第一凹形基座部件具有一第一开口围绕所述中心轴线扩展；以及

ii)第二凹形基座部件，与所述第一凹形基座部件相对地对称设置于所述中心轴线周围，并且有一外缘置于所述第一平面内，所述第二凹形基座部件的外缘固定连接于所述第一凹形基座部件的所述外缘上；

B)一个薄膜，其周边部分固定连接于所述第一基座部件的所述外缘和所述第二基座部件的所述外缘二者当中至少一个上。

C)一个预先组装好的第一电极组合件，包括

i)第一电极，它具有第一导电表面；

ii)第一电极支撑部件，它固定连接于所述第一电极上并沿第一电极轴线延伸，所述第一电极轴线沿着基本上横穿所述第一导电表面的方向延伸；

iii)第一环形环套，它位于所述第一电极支撑部件周围并与其基本上同心；

iv)介电材料，将所述第一电极支撑部件刚性连接于所述第一环套；而且

所述第一电极组合件按以下步骤刚性连接于所述第一凹形基座部件上：

1)将所述第一环套置于所述第一开口之中，从而使所述第一导电表面与所述第一平面之间均匀地隔开一个预先确定的距离；

2)将所述第一环套刚性连接于所述第一凹形基座部件上，保持所述第一导电表面与所述第一平面相对，并与其均匀地保持所述预先确定的距离。

2.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述第一导电表面与所述薄膜之间均匀地相距一个标称缝隙宽度d。

3.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，其中步骤2包括如下步骤：

2a)在所述第一环套和所述第一凹形基座部件之间提供可成形的填充材料，以及

2b)使所述填充材料硬化，从而由所述填充材料将所述第一环套刚性连接于第一凹形基座部件上。

4.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述介电材料包含玻璃材料。

5.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述第一导电表面基本上是平面。

6.根据权利要求5的电容压力传感器，其特征在于，所述第一导电表面包括一中心凹陷部分，它与所述第一平面的间距大于所述预先确定的距离。

7.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述第一导电平面基本上是凹形的。

8.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述第一电极支持部件熔焊于所述第一电极上。

9.根据权利要求1的电容压力传感器，其特征在于，所述第一电极组合件由下列步骤形成：

A)将所述第一电极支撑部件固定连接于所述第一电极，从而使所述第一电极轴线基本上垂直于所述第一导电表面延伸；

B)将所述第一环套围绕所述第一电极支撑部件放置，并使二者基本上是同心的，从而使所述第一环套的内表面与所述第一电极支撑部件的外表面相对而且间距基本均匀；

C)将所述第一环套的所述内表面与所述第一电极支撑部件的所述外表面刚性连接于基本上是刚性的介电材料上。